Occasion BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073 à vendre en France

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 est un gestionnaire de plaquettes spécialement conçu pour les applications semi-conductrices. Ce gestionnaire de plaquettes est capable de manipuler une variété de types et de tailles de plaquettes, avec la capacité de transporter, aligner et localiser les plaquettes en toute sécurité sans les endommager. Le ATR-7 y parvient en disposant d'un équipement d'alignement piloté de précision, qui utilise un étage motorisé, supporté par un système d'asservissement commandé par microprocesseur. L'étage motorisé est capable d'un positionnement de coordonnées X et Y très précis et est capable de fournir une répétabilité spatiale de 0,3 μ m à des distances de 300 mm. Cette unité d'alignement précise permet l'alignement et le transport précis des plaquettes avec une variation dimensionnelle allant jusqu'à 2,5 mm. Le gestionnaire de plaquettes est conçu avec une variété de caractéristiques de sécurité qui aident à assurer l'emplacement de chaque plaquette et à réduire tout risque de contamination potentiel. Cela comprend un certain nombre de capteurs utilisés pour détecter une mauvaise gestion de la plaquette ainsi qu'une machine de surveillance intégrée pour assurer un alignement correct lors du transfert de la plaquette. D'autres caractéristiques comprennent un module de camionnage chauffé, la vitesse de processus réglable électroniquement, et les capacités d'enregistrement de données. Afin de transporter et d'aligner les plaquettes en toute sécurité, le gestionnaire de plaquettes ATR-7 est conçu avec une variété d'options à la fois pour le porte-plaquettes et pour la précision du porte-plaquettes. Le porte-plaquettes inclus permet un alignement précis et reproductible, assurant que chaque plaquette est correctement centrée pendant le transport et peut contenir jusqu'à vingt 200 mm, 7 pouces ou trois plaquettes de 8 pouces. Le support comprend également un mécanisme de détection des plaquettes individuelles et la présence d'une bande d'essai STS, ETS ou DTS. De plus, la précision de la plaquette par rapport au support du ATR-7 est réglable de 0,15 µm à 3,5 µm, ce qui permet de placer précisément chaque plaquette à l'intérieur du support. 002-7090-05 ATR-7 est un gestionnaire de plaquettes très fiable et précis qui est conçu pour faciliter le transfert de plaquettes sûr, précis et efficace et le traitement automatisé des plaquettes dans les applications de semi-conducteurs. Il offre une grande précision, un alignement répétable, et la capacité de manipuler une variété de tailles et de types de plaquettes, le tout d'une manière sûre et sécurisée. Il s'agit d'une solution idéale pour les applications de traitement automatisé des plaquettes qui nécessitent un alignement, un suivi et un transport précis des plaquettes.