Occasion BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693 à vendre en France
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BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 est un manipulateur robotique entièrement automatisé conçu pour le chargement/déchargement de plaquettes de 300 mm de diamètre dans des applications de fabrication de semi-conducteurs. Le gestionnaire contient une gamme de composants et de fonctionnalités qui travaillent ensemble pour fournir un environnement efficace, fiable et sûr pour transporter automatiquement les plaquettes à l'entrée et à la sortie de l'outil de traitement. Le manipulateur dispose d'un mécanisme unique pour saisir les plaquettes en toute sécurité tout en conservant un contact doux et protecteur sans contact avec la surface des plaquettes. Le mécanisme de préhension utilise un moteur à courant continu sans balai et une came de sortie rotative pour entraíner deux chambres à vide indépendantes pour la plaquette. Le moteur crée également une vibration de bas niveau qui aide le vide à maintenir les plaquettes en sécurité. En outre, le vide a un démarrage doux et un profil d'accélération et de décélération variable afin que les plaquettes soient manipulées en toute sécurité. Le gestionnaire dispose également d'une cassette de plaquettes à température contrôlée pour stocker les plaquettes avant et après le traitement. La température de la cassette est surveillée et maintenue à l'aide d'un système de contrôle thermique avancé qui garantit des performances optimales et une précision de manipulation des plaquettes. De plus, la cassette peut être interchangée rapidement et facilement pour que les plaquettes puissent être traitées successivement sans retard important. L'ensemble du système est surveillé par un logiciel de contrôle sophistiqué. Le logiciel d'automatisation permet aux opérateurs de régler des paramètres tels que les paramètres d'asservissement, les paramètres du système de contrôle thermique et la vitesse de transport des plaquettes pendant le vol. En outre, le logiciel permet la surveillance à distance et le diagnostic du gestionnaire pour assurer les plus hauts niveaux de performance et de fiabilité. Le logiciel comprend également des fonctions telles que l'enregistrement de résolution asalarm et l'autodiagnostic afin que tout problème ou défaut puisse être rapidement identifié et résolu. Dans l'ensemble, le 002-7200-21 est une solution avancée de manutention des plaquettes qui fournit des niveaux énormes de précision et de commodité pour les opérations de traitement des semi-conducteurs. Le gestionnaire intègre une variété de mécanismes et de technologies pour assurer le transport sûr et sécurisé des plaquettes avec des exigences minimales d'entretien. En fin de compte, le gestionnaire est un outil essentiel pour rationaliser les processus de fabrication des plaquettes et garantir des niveaux de qualité et de fiabilité extrêmes.
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