Occasion BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716 à vendre en France

BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 est un manipulateur avancé de plaquettes conçu pour être utilisé dans les laboratoires et les installations de recherche où la manipulation précise des plaquettes semi-conductrices est primordiale. Ce manipulateur automatisé est capable de manipuler des plaquettes de 200mm à 300mm avec un bord chaud intégré et une conception de vide à mur froid. Le gestionnaire de plaquettes est commandé par un écran tactile convivial et équipé d'un bras robotisé 4 axes. Ce bras robot a une plage de mouvement de 50mm et peut transporter jusqu'à un maximum de 25kg de matière. 003-5000-11 est construit avec des capteurs de mouvement et des étages de mouvement linéaires de haute précision pour un transfert de substrat stable et à faible bruit. Les étages de mouvement linéaire ont un contrôle de vitesse variable et disposent d'une vitesse maximale de 200tpm avec une résolution supérieure à 0,1 microns. Le gestionnaire de plaquettes dispose également d'un étage de pré-alignement entièrement automatisé (FAPS) pour un emplacement précis du substrat. Le FAPS utilise deux caméras CCD de 1,8 pouce avec éclairage On-Axis et Off-Axis pour un alignement précis. En plus de la fonction principale de manutention des plaquettes, BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 est conçu avec de multiples dispositifs de sécurité et des emboîtements pour empêcher le fonctionnement accidentel. Il a intégré des pièces et des outils avant et après le processus, ainsi que des filtres à interférence électromagnétique (EMI) et des boutons d'arrêt d'urgence manuels. En outre, le manche de plaquette est conçu pour minimiser les besoins de nettoyage en incorporant une conception esthétique semi-étanche. 003-5000-11 est conçu pour fonctionner avec une variété de techniques de traitement telles que la gravure, la lithographie, le dédicace et le collage de plaquettes. Il a une plage de température de fonctionnement de 4-60 ° C et une plage d'humidité relative de 30-95 %, permettant l'utilisation du manipulateur dans une gamme d'environnements. Dans l'ensemble, BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 est un excellent gestionnaire de plaquettes pour tous les besoins de traitement des plaquettes. Il est fiable et précis avec une gamme de caractéristiques de sécurité, permettant aux chercheurs et aux ingénieurs d'accomplir leurs tâches avec précision et confiance. Avec son logiciel hautement personnalisable et son écran tactile intégré, le 003-5000-11 est le choix idéal pour la manipulation automatisée des plaquettes.