Occasion BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 #9204645 à vendre en France

ID: 9204645
Backbone transfer module.
BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 est un gestionnaire de plaquettes, conçu pour déplacer facilement et efficacement les substrats semi-conducteurs entre les stations de traitement, d'essai et de métrologie. Ses composants rigides de construction et de précision, tels que les roulements linéaires, les vis à billes et les actionneurs rotatifs et linéaires, garantissent des performances de manutention des plaquettes lisses et fiables. L'équipement est doté d'une logique d'interface, d'emboîtements de sécurité et d'un contrôle de mouvement de précision, ce qui facilite son intégration dans l'environnement de production existant de l'utilisateur. Ce gestionnaire de plaquettes dispose d'une large gamme de capacités fonctionnelles et d'options. Il permet un fonctionnement automatisé, semi-automatisé ou manuel, ainsi que des options de chargement et de déchargement à partir de cassettes, FOUP et FOSB. Sa logique d'interface prend en charge les communications bidirectionnelles, le diagnostic du système et l'enregistrement des données, ainsi qu'un large éventail de conducteurs externes pour les systèmes de vide, de pale, de refroidissement et de vision. Le gestionnaire de plaquettes est conçu avec des dispositifs de sécurité tels que des soupapes de surpression, des dispositifs de sécurité et des barrières de sécurité, ainsi qu'un blindage électromagnétique, pour protéger le dispositif et l'environnement. Le gestionnaire de plaquettes est conçu pour fonctionner avec une gamme de tailles de substrat, y compris des substrats de 200mm et 300mm. Sa capacité de charge est de 120KG et sa plage de hauteur de charge est de 150mm à 1150mm. L'appareil est équipé d'une technologie avancée de commande de mouvement, qui permet des vitesses de déplacement allant jusqu'à 200mm/s. Il supporte également un mouvement et une précision de haute précision, avec une répétabilité à 0,008mm. Ce gestionnaire de plaquettes est conçu avec des composants économes en énergie, y compris des servomoteurs sans balais, des entraînements de courroie et des régulateurs de commutation à haut rendement, pour garantir des performances élevées et des coûts d'énergie réduits. Le dispositif est conçu pour des performances à long terme, et ses exigences de maintenance sont minimes. Il est doté d'une surveillance intelligente de tous les composants de l'unité, ce qui garantit que toutes les exigences de maintenance potentielles peuvent être identifiées avant qu'elles ne deviennent un problème. Le gestionnaire de plaquettes dispose également d'une machine d'exploitation fiable et conviviale, ce qui simplifie la configuration et la programmation de l'appareil. Il prend en charge un large éventail de paramètres configurables, y compris l'accélération, la décélération, la vitesse, les positions de démarrage et d'arrêt, et les opérations de marche et de répétition. Il est ainsi facile de personnaliser l'appareil pour répondre aux besoins spécifiques de l'utilisateur. Dans l'ensemble, 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 wafer handler est un excellent dispositif pour automatiser la manipulation des substrats semi-conducteurs. Sa technologie de commande de mouvement haute performance, ses caractéristiques de sécurité avancées, sa fiabilité à long terme et sa configuration simple en font un choix idéal pour tout environnement de fabrication automatisé.
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