Occasion BROOKS AUTOMATION 121655 #9232807 à vendre en France
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BROOKS AUTOMATION 121-655 est un équipement de manutention de plaquettes conçu pour le transport et la distribution de plaquettes efficaces. Il peut être utilisé pour transporter et distribuer jusqu'à quatre plaquettes de 8 pouces à la fois. Ce système est principalement utilisé dans les laboratoires de fabrication et d'essai de semi-conducteurs, ainsi que dans les outils de divers instituts de recherche. L'unité est équipée de modules interchangeables, permettant une personnalisation en fonction des besoins des utilisateurs. Les modules inclus sont une chambre de chargement/déchargement libre réglable, le transport et le verrouillage des plaquettes, la capacité de stockage des plaquettes, et les composants de métrologie de précision. Ce gestionnaire de plaquettes a plusieurs axes basés sur un palier à air pour le fonctionnement haute performance, et est compatible avec une variété d'équipements de manutention de plaquettes. La machine dispose de deux composants principaux, à savoir une chambre d'ouverture/déchargement automatisée et un outil de contrôle de mouvement. Le premier fournit précision, haute précision, et le chargement/déchargement rapide des plaquettes des outils semi-conducteurs. Il comporte également un atout pour positionner avec précision des plaquettes dans la chambre d'opération avant et après les opérations. Le modèle de commande de mouvement comprend un mécanisme d'échange de plaquettes et un équipement de positionnement de filière qui permet jusqu'à quatre plaquettes de 8 pouces de tourner dans une configuration de type tambour afin de réduire le temps de chargement/déchargement. Le système de manutention des plaquettes comprend également une unité de manutention des plaquettes sous vide flexible, une machine de contrôle de la température et la capacité de permettre le processus plasma à faible contact. Cet outil de manutention de plaquettes possède une caractéristique unique qui permet de transférer des plaquettes entre différents types d'outils avec précision et précision. Cela aide les utilisateurs à réduire le temps et les coûts énergétiques associés au transport et au stockage des plaquettes. 121-655 est un outil de manutention fiable et efficace qui répond à toutes les exigences des utilisateurs. Il est très compact et économe en énergie, ce qui lui permet de consommer un minimum d'espace. En outre, le modèle est construit en utilisant des composants durables et de haute qualité et un logiciel robuste et convivial qui est facile à utiliser et à utiliser. Cet équipement a été fabriqué conformément aux normes de qualité et de sécurité les plus élevées.
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