Occasion BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028 à vendre en France
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AUTOMATISATION DES BROOKS L'épine dorsale est un type d'instrument scientifique utilisé par les fabricants de semi-conducteurs pour le transfert et le traitement de ces derniers. Le but principal du gestionnaire de plaquettes est d'automatiser le transport et le traitement des plaquettes, d'une étape de fabrication à l'autre, avec une intervention manuelle minimale. L'épine dorsale est un équipement entièrement automatisé de manutention des plaquettes conçu pour permettre le transport des plaquettes semi-conductrices entre les étapes de traitement, et le stockage des plaquettes pendant les opérations de traitement prolongées. Au cœur, BROOKS AUTOMATION Backbone est composé d'une série de mécanismes de transport et de modules de chambre utilisés pour le transit et le stockage de plaquettes pendant les processus de fabrication. Les mécanismes de transport sont utilisés pour déplacer des plaquettes des modules d'entrée vers les modules de traitement spécifiés, tandis que les modules de chambre jouent le rôle de points de matérialisation au sein du système. Chaque module est conçu pour maintenir des exigences spécifiques en matière de pression, de température, d'environnement et de propreté, telles que le nettoyage dynamique ou le préemballage de l'atmosphère pour des processus délicats. L'épine dorsale est également équipée de capteurs pour mesurer les conditions de l'unité, telles que la pression et la température. Pour assurer une livraison précise et sûre, BROOKS AUTOMATION Backbone est conçu avec des systèmes avancés de contrôle de mouvement qui fournissent un contrôle de précision ainsi que des mesures de sécurité. Ceci est nécessaire pour que les porteurs de plaquettes soient certains de se déplacer avec précision et dans la bonne direction, qu'il n'y ait pas de contact entre les porteurs, et que les porteurs manipulent les plaquettes avec soin sans aucun dommage. L'épine dorsale supporte également différents types de supports de plaquettes tels que 200mm, 300mm, tappered, et d'autres tailles personnalisées. Des supports adaptés aux procédés à haute température sont également disponibles. La machine permet également des réglages et des modifications faciles via un logiciel pour différentes tailles de plaquettes. Dans l'ensemble, BROOKS AUTOMATION Backbone représente un outil de manutention de plaquettes fiable et sophistiqué qui offre un transport et un stockage sûrs, précis et efficaces des plaquettes. Il simplifie la manutention manuelle et permet des processus de four répétables avec un vide contrôlable, ainsi que le déplacement précis des plaquettes à travers ces étapes de processus. Il s'agit d'une option de pointe pour un large éventail d'applications de manutention des plaquettes, de la production à haut volume à la R & D.
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