Occasion BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120 à vendre en France
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ID: 57120
Taille de la plaquette: 12"
Lot of 2 fixloads
For the VARIAN VIISion / VIISta systems
Fixload 25/V5, 12"
Brooks Fixload V6 Loadport, 12"
Crated.
BROOKS AUTOMATION E40001182 EChanger et le E19013780 EChanger sont deux gestionnaires de plaquettes spécialement conçus pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs et optoélectroniques. Ces machines hautes performances offrent des capacités de manutention automatique des plaquettes, de gestion thermique et d'inspection pour un débit maximal et des rendements de dispositifs améliorés. L'EChanger est conçu pour déplacer une plaquette de son emplacement de stockage à la station de traitement. Les composants principaux de la machine comprennent un cadre principal, un servomoteur, une unité d'entraînement et des navettes. Le cadre principal se compose de deux supports principaux et d'un cadre central qui abrite le servomoteur, l'unité d'entraînement et d'autres composants. Les servomoteurs sont responsables de l'alignement, de la translation et de la rotation des navettes et de l'outillage associé. L'unité d'entraînement se compose d'un moteur, d'une boîte de vitesses et d'un contrôleur qui est responsable de la synchronisation, du chronométrage et du contrôle de l'équipement. L'EChanger peut transporter une variété de tailles et de poids de plaquettes à travers une gamme de motifs de mouvement. La machine utilise le scribage de mouvement de précision, les profileurs d'énergie thermique et le réglage du champ de balayage pour assurer une manipulation précise des plaquettes. La machine est conçue pour maintenir la planéité des plaquettes, manipuler des cassettes de plus de 200 plaquettes et assurer une gestion thermique en temps réel pendant le traitement. L'EChanger est construit avec des dispositifs de sécurité pour un environnement de travail sécurisé. Il dispose d'un système de verrouillage de sécurité pour protéger contre l'activation accidentelle des navettes et est également équipé de boutons d'arrêt d'urgence en cas d'urgence ou d'erreur de l'utilisateur. Il dispose également d'un interrupteur d'alimentation d'urgence pour arrêter l'appareil en cas d'urgence. L'EChanger dispose également d'une protection contre la poussière et l'humidité pour assurer un environnement opérationnel propre. En plus des capacités de transfert du wafer EChanger, le E19013780 EChanger est équipé d'un poste d'inspection qui permet aux opérateurs de visualiser le wafer et d'inspecter l'état du dispositif. Cela comprend une caméra CCD de haute précision, une machine d'éclairage embarquée et trois technologies de traitement d'image : Ultra Clear, Contraste Protection et Dual Image Trace. Ces caractéristiques offrent un niveau plus élevé de précision et de répétabilité pour l'analyse précise du rendement et la caractérisation des dispositifs. BROOKS AUTOMATION EChanger offre une solution de manutention fiable et efficace des plaquettes. Grâce à ses caractéristiques telles que les servomoteurs, l'unité d'entraînement et la technologie de scribage de mouvement de précision, il permet un débit maximum et un alignement précis de la plaquette. Il est également équipé d'autres fonctionnalités dont une station d'inspection et des capacités de gestion thermique en temps réel qui le rendent idéal pour le traitement des semi-conducteurs et des dispositifs optoélectroniques.
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