Occasion BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219 à vendre en France
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ID: 9358219
Style Vintage: 2014
Systems
Part number: 241181-0004
Jet: (3) Wide with Reliance vacuum grip
3-Axis Reliance ATM Robot
EE Vacuum grip for 8"-12"
ATR Series 8 Aligner, 8"-12"
With notch
Rear panel fit for GX VBE Loadlocks
(2) Vision LPMs Loadports
2014 vintage.
BROOKS AUTOMATİON EFEM est un manipulateur de plaquettes haute performance conçu pour déplacer et manipuler avec précision et rapidité des plaquettes et composants délicats dans une large gamme d'applications d'automatisation et de manutention des matériaux en usine. C'est une machine polyvalente à haut débit qui permet de déplacer les plaquettes entre les différents processus de manière contrôlée et sûre. Le gestionnaire de plaquettes Brooks EFEM est un équipement automatisé modulaire composé de servomoteurs, de contrôleurs de mouvement, de bras robotisés, de chariots de transfert manuel ou de toute combinaison de ceux-ci pour contrôler le mouvement de la plaquette. Le bras robot est le composant clé du système et est configuré pour fonctionner avec des exigences spécifiques d'application. Cette unité flexible permet une variété de configurations de manutention de plaquettes qui couvrent un large éventail d'applications, y compris la manutention et le transfert de plaquettes de précision, les opérations d'assemblage, la tentation de la machine et la fabrication de semi-conducteurs. Le bras robot est conçu pour manipuler des plaquettes jusqu'à 450mm de diamètre. Il est équipé d'un actionneur radial qui contrôle précisément l'orientation angulaire de la plaquette par rapport au bras et à la base de BROOKS AUTOMATİON EFEM. Cette conception permet des angles de haute précision qui sont cohérents lors du déplacement et de la manipulation des plaquettes entre différents processus spéciaux. Le bras robot dispose également d'une machine intégrée de hachage de plaquettes et, pour des performances optimisées, d'une opération « start-stop » qui permet d'arrêter le bras robot et sa mémoire d'état pour positionner avec précision la plaquette selon les nécessités de l'application. Le robot est combiné avec une caméra pour le guidage de la vision et l'alignement précis des plaquettes. L'EFEM Brooks est capable de transférer avec précision des plaquettes entre les processus jusqu'à une vitesse de 300mm/sec. Il dispose également d'un ensemble de commande standard pour contrôler le fonctionnement du robot et/ou de ses accessoires. Sa grande précision et sa vitesse réduisent le temps de manipulation des plaquettes et son programme de contrôle intuitif assure la précision. Le Brooks BROOKS AUTOMATİON EFEM est l'un des systèmes de manutention de plaquettes les plus fiables sur le marché aujourd'hui en raison de ses composants de haute performance et de sa construction de qualité. En conclusion, EFEM est un gestionnaire de plaquettes efficace qui est conçu pour déplacer et manipuler avec précision et rapidité les plaquettes et composants délicats dans une large gamme d'applications d'automatisation et de manutention des matériaux en usine. Sa conception modulaire et sa flexibilité le rendent beaucoup plus propice aux applications impliquant des angles et des mouvements très précis. C'est également l'un des systèmes de manutention de plaquettes les plus fiables sur le marché aujourd'hui en raison de ses composants et de sa construction performants. C'est un outil idéal pour répondre aux besoins de la plupart des environnements automatisés en usine.
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