Occasion BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433 à vendre en France

AUTOMATISATION BROOKS FabExpress wafer handler est un module de transfert automatisé spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour déplacer des plaquettes entre des équipements de traitement, tels que des outils de lithographie, des outils CVD, des graveurs et des bancs humides, pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le gestionnaire de plaquettes est capable de transférer des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre à une vitesse allant jusqu'à 12 plaquettes par heure. Il peut être utilisé à des niveaux de pression ou de vide pour maintenir un contrôle serré du processus sur la manutention des plaquettes. FabExpress dispose d'un module de dédicace des plaquettes de haute précision qui est conçu pour fournir des performances fiables pour la manutention des plaquettes. Le module de dictage permet des réglages précis qui permettent des transferts précis de plaquettes. Ce module dispose également d'un équipement de caméra haute vitesse et d'un système intégré de détection laser pour assurer la précision du processus de dictage. Il est prévu une unité de vision programmable qui simplifie la mise en place et le fonctionnement du gestionnaire de plaquettes. AUTOMATISATION DES BROOKS Le gestionnaire de plaquettes FabExpress utilise une combinaison de servomoteurs et d'actionneurs pneumatiques pour transférer rapidement et avec précision les plaquettes entre les équipements de traitement. Il comprend également une unité de contrôle de mouvement avec des contrôleurs logiques programmables (PLC) pour fournir un contrôle de mouvement précis. L'unité de contrôle de mouvement peut être utilisée pour synchroniser plusieurs processus afin d'assurer un fonctionnement efficace. Ce gestionnaire de plaquettes est équipé de systèmes mécaniques optiques de précision pour assurer des transferts précis et non superposés des plaquettes. Il comporte une chambre à vide intégrée qui peut manipuler précisément les plaquettes dans la chambre. Cette chambre à vide est conçue avec un bras robotique intégré pour une manipulation et une répétabilité précises. Le gestionnaire de plaquettes est livré avec une machine de vision automatisée pour l'inspection de plaquettes qui dépasse la plupart des machines automatisées de manutention de plaquettes sur le marché. Il dispose d'un large éventail d'options d'inspection disponibles, y compris l'inspection visuelle in situ, qui permet à l'opérateur de confirmer la qualité des plaquettes sans avoir à les retirer de l'outil. FabExpress est un gestionnaire de plaquettes très fiable qui offre une excellente précision de manipulation et répétabilité. Il dispose de caractéristiques de sécurité avancées telles que des capteurs et des emboîtements pour un contrôle maximal du processus et la fiabilité. Ce gestionnaire de plaquettes est conçu pour fonctionner 24/7 avec un temps d'arrêt minimal. Il est également livré avec le service, la maintenance et les paquets de pièces pour assurer une performance optimale avec une perturbation minimale.