Occasion BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364 à vendre en France

AUTOMATISATION BROOKS La charge fixe 6 est un gestionnaire de plaquettes entièrement automatisé et performant conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. La charge fixe 6 peut manipuler des plaquettes de 100 mm à 300 mm de diamètre, et se compose d'une unité de commande principale et de carrousels alimentés pour le placement et le transfert des plaquettes. Il comprend un équipement de sécurité avancé multi-passe avec des portes de sécurité à double verrouillage, une protection par mot de passe et des capteurs intégrés pour surveiller et protéger les plaquettes manipulées. De plus, le système est conçu avec un module de transport Wafer (WTM) qui guide la plaquette jusqu'à sa station de destination, tandis que la technologie de contrôle adaptatif en temps réel Intelliflow (TM) ajuste et corrige continuellement les trajectoires de la plaquette pour maximiser le débit et l'efficacité, ainsi que déterminer quand il est nécessaire d'arrêter l'unité pour éviter les dommages de la plaquette. Le robuste BROOKS AUTOMATION Fixload 6 dispose également de capacités de traçabilité complètes, y compris la gestion des recettes en temps réel, la précision des logarithmes et le Wafer Centric Tracking (MC) qui suit l'ensemble du cycle de vie de la plaquette du début à la fin. Les rapports d'exception permettent aux exploitants d'identifier rapidement tout problème et de recommander des mesures correctives. La machine est alimentée par un contrôleur haute vitesse fonctionnant sur un FPGA, et un piézo-actionneur à trois axes très précis et ultra précis pour un positionnement précis et constant des plaquettes. La charge fixe 6 comprend une variété de fonctions de sécurité et d'alarme, y compris les interrupteurs d'interception, la détection et le signalement des dysfonctionnements et la logique d'arrêt d'urgence. Utilisant un transfert de plaquettes à 3 ou 4 étages et un arbre de transfert à entraînement élevé et à faible couple, BROOKS AUTOMATION Fixload 6 est conçu pour augmenter le débit de plaquettes, tout en offrant un niveau élevé de précision et de précision. Il permet également une configuration et une maintenance rapides et faciles grâce à son interface conviviale et à son haut niveau d'automatisation. Le résultat final est une manipulation rapide, fiable et précise des plaquettes avec les meilleurs rendements possibles.