Occasion BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036 à vendre en France
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ID: 293634036
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Load port, 12"
2003 vintage.
AUTOMATISATION BROOKS Fixload V6 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour automatiser le chargement et le déchargement de plaquettes dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs par lots. Il permet un chargement et un déchargement des plaquettes efficaces et semi-automatisés en un seul processus. Cela permet de traiter un grand nombre de plaquettes en une seule fois et réduit le temps de traitement. La charge fixe V6 utilise un équipement polyvalent qui peut accueillir une variété de dimensions de plaquettes, y compris des plaquettes rondes de 6 pouces et 8 pouces. Le système de pod flexible est conçu pour être compatible avec d'autres systèmes, tels que les systèmes de manutention des plaquettes, et est facilement configurable, permettant de manipuler des tailles de plaquettes spécifiques. L'unité utilise une machine de transfert de plaquettes à vide intégrée pour transférer des plaquettes vers et hors des plates-formes de traitement et des systèmes de positionnement et d'orientation pour aligner avec précision les plaquettes pour le traitement. En outre, l'outil peut être configuré pour détecter automatiquement le désalignement et interrompre le processus, évitant les dommages aux plaquettes et à l'équipement de traitement. AUTOMATISATION BROOKS Fixload V6 dispose d'un contrôleur de processus à haut rendement avec une interface graphique complète pour assurer le bon fonctionnement et la sécurité de tous les processus de wafer. Le contrôleur peut être utilisé pour contrôler plusieurs tâches de traitement de plaquettes telles que le refroidissement de plaquettes, la cuisson et l'oxydation, ainsi que pour surveiller les variables de processus. L'actif peut également être configuré pour ajuster automatiquement les paramètres du processus en fonction des résultats des mesures effectuées pendant le traitement. Ceci est destiné à optimiser les conditions de traitement et à éviter toute détérioration des plaquettes due à des conditions non optimales. La charge fixe V6 a une conception sécurisée pour protéger le modèle et les plaquettes contre la contamination et d'autres facteurs environnementaux. Il dispose d'un équipement d'accès sécurisé et d'un système de verrouillage intégré pour prévenir les dysfonctionnements accidentels de l'unité. En outre, BROOKS AUTOMATION Fixload V6 comprend des systèmes de traçabilité pour surveiller et enregistrer tous les événements de processus et détecter les erreurs. Ceci est destiné à faciliter le débogage et le dépannage de la machine en cas de problème. Fixload V6 est un outil de manutention de plaquettes convivial et fiable. Il a été conçu pour améliorer l'efficacité et la productivité du traitement des plaquettes dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs.
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