Occasion BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/R #9032627 à vendre en France

Le gestionnaire de plaquettes Ergospeed LPTS/R de JENOPTIK est conçu pour le traitement des semi-conducteurs et la fabrication des plaquettes. Ce gestionnaire de plaquettes est une solution tout-en-un qui fournit un ensemble complet de fonctionnalités conçues pour répondre aux besoins croissants des fabricants de semi-conducteurs technologiquement avancés d'aujourd'hui. Le LPTS/R offre aux utilisateurs un transfert précis de plaquettes, et des processus d'alignement précis dans une conception légère. AUTOMATISATION DES BROOKS Le gestionnaire de plaquettes Ergospeed LPTS/R est conçu avec un équipement avancé de levage et d'alignement des panneaux. Le système de levage et d'alignement se compose de deux composants distincts : le poste de levage et le poste d'alignement. La station de levage soulève activement la plaquette de sa base pour assurer un placement précis et reproductible pendant le transfert à la station d'alignement. Là, la station d'alignement aligne précisément la plaquette afin d'assurer un transfert parfait du panneau. L'Ergospeed LPTS/R supporte une grande variété de tailles et de formes de substrat, y compris des cassettes en anneau, des substrats hexagonaux, rectangulaires et carrés. Il offre également des ports de chargement avec des mécanismes de fermeture qui peuvent être configurés pour un fonctionnement manuel ou automatisé. En outre, chaque port est équipé d'un indicateur LED pour l'identification visuelle des états de chargement, ainsi que de capteurs de verrouillage de charge pour la détection précise des pannes ou des dommages. Le gestionnaire de plaquettes LPTS/R est conçu avec plusieurs fonctionnalités supplémentaires qui améliorent ses performances et sa facilité d'utilisation. Sa plaque de moteur de levage se compose de 16 moteurs indépendants, sans brosse pour permettre une plus grande charge de travers et des temps de cycle plus courts. La structure de boucle de levage aide le manipulateur à maintenir une hauteur de levage de 300mm. Cet élément de conception permet également de réduire la consommation électrique de l'équipement. En outre, le gestionnaire bénéficie d'une architecture d'unité modulaire qui lui permet d'échanger facilement des pièces ou des composants. Cela garantit que la maintenance de l'utilisateur est réduite au minimum et que l'ensemble de la machine fonctionne à un rendement maximal. Enfin, l'Ergospeed LPTS/R est conçu avec des mécanismes de sécurité avancés pour protéger les utilisateurs et les équipements. Son interrupteur de limite mécanique à deux points protège à la fois la portance et l'alignement du panneau, tandis que la protection ESD inhibe l'accumulation statique. En cas d'urgence, l'outil comporte également un arrêt d'urgence, des systèmes de double verrouillage et une alarme de panne de courant. BROOKS AUTOMATISATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/R wafer handler est la solution idéale pour les utilisateurs qui recherchent un transfert de plaquettes précis, des processus d'alignement précis et des mécanismes de sécurité fiables. Cette solution tout-en-un offre aux utilisateurs les fonctionnalités nécessaires pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs à rythme rapide.