Occasion BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244 à vendre en France

BROOKS AUTOMATISATION/JENOPTIK SLR 200 Wafer Handler est un équipement robotique automatisé conçu pour le chargement et le déchargement de wafers dans des applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système permet une manipulation précise des plaquettes dans un environnement stérile. Le JENOPTIK SLR 200 est équipé d'une unité de protection contre les décharges électrostatiques (ESD), qui prévient les dommages causés aux plaquettes par les charges électrostatiques. Avec un actionneur efficace, les plaquettes peuvent être sorties de l'outil 2-3 fois plus rapidement que le chargement et le déchargement manuel. La machine est capable d'atteindre une vitesse de pointe de 1820 mm/s et peut manipuler des plaquettes allant de 100µm à 200 mm. Il offre une large gamme de capacités, y compris un outil de cartographie qui permet une programmation rapide, et la capacité de gérer jusqu'à 50 wafers par minute. L'outil est conçu pour augmenter la productivité, avec un atout de vision intégrée qui est capable d'identifier tous les types et tailles de plaquettes en un seul cycle. Le modèle fournit également un niveau élevé de précision de placement des plaquettes, avec une répétabilité de 0,2 mm. BROOKS AUTOMATION SLR 200 peut également être utilisé avec d'autres chargeurs/déchargeurs et robots sous vide, pour augmenter le débit. En outre, l'équipement fournit une variété de caractéristiques de sécurité, y compris un bouton d'arrêt d'urgence et des capteurs infrarouges. Cela garantit que les plaquettes sont manipulées de manière sûre et sécurisée. Le système comprend également une interface utilisateur intuitive, permettant un fonctionnement et une programmation faciles. Dans l'ensemble, SLR 200 Wafer Handler est une plate-forme efficace et fiable pour le chargement et le déchargement des wafers dans les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa capacité à gérer une large gamme de tailles de plaquettes, un emplacement précis et des vitesses rapides, cette unité est idéale pour augmenter la productivité et l'automatisation.