Occasion BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435 à vendre en France

BROOKS AUTOMATION MTX 2000 est un gestionnaire de plaquettes de précision haut de gamme pour des applications incluant la fabrication de semi-conducteurs, la métrologie et le test de semi-conducteurs. Le MTX 2000 utilise un équipement unique de contrôle des mouvements fins à trois axes pour fournir une précision et une répétabilité supérieures pour les plaquettes placées dans sa chambre à température contrôlée. AUTOMATISATION BROOKS Le système de commande de mouvement fin MTX 2000 est composé de trois moteurs linéaires qui contrôlent le positionnement X-Y-Z de la plaquette. Trois codeurs linéaires mesurent et enregistrent les positions exactes de la plaquette. Cette unité complexe permet une précision de placement des plaquettes d'un micron et assure la répétabilité entre les opérations de transfert des plaquettes MTX 2000. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 est capable de charger/décharger, transférer et aligner des plaquettes avec une précision inférieure à quatre (4) microns. Une pince robotisée à vide de grande capacité facilite la manutention et le transport précis des plaquettes de 6-12 pouces de diamètre. De plus, une fonction de cartographie automatisée simplifie la programmation personnalisée des transferts de plaquettes multi-positions. La machine informatique embarquée MTX 2000 utilise une interface utilisateur graphique pour coordonner toutes les opérations de transfert des plaquettes. AUTOMATISATION BROOKS Le logiciel de programmation MTX 2000 permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de transport de l'outil pour optimiser les vitesses et la précision de transport des plaquettes. L'actif de chargement/déchargement des plaquettes se compose d'une alimentation en cassette de plaquettes à vide, d'un ascenseur à axe z à vide et d'un mécanisme de bande transporteuse. Pour assurer un transfert de plaquettes sans contamination, l'alimentation de la cassette de plaquettes utilise du gaz azoté et une conception spéciale pour filtrer les contaminants. En plus des modèles standard, MTX 2000 est disponible dans une configuration de salle blanche de classe 1 pour les applications nécessitant une propreté et une stérilité supplémentaires. BROOKS AUTOMATION MTX 2000 offre un certain nombre de différentes fonctions de régulation de la température, de contrôle de l'humidité et de contrôle de la pression atmosphérique pour assurer l'environnement idéal pour la manutention et le traitement des plaquettes. La température de fonctionnement varie de -40 ° C à 300 ° C et maintient la précision à ± 1 ° C Les opérations combinées de MTX 2000 en font une solution parfaite pour un large éventail d'industries et d'applications.