Occasion BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301 à vendre en France

AUTOMATISATION DES BROOKS MTX 4000 Wafer Handler est un équipement automatisé de manutention des plaquettes conçu pour déplacer les plaquettes semi-conductrices et les placer avec précision dans des outils de traitement. Il est bien adapté pour des applications telles que le transport des plaquettes, le chargement des plaquettes ainsi que la manutention des plaquettes d'essai, le revêtement et le décapage, la détection et la sélection et la mise en place. Le MTX 4000 est équipé de capteurs et de manipulateurs avancés pour transporter et placer avec précision les plaquettes dans des outils de traitement, ainsi que pour évaluer la géométrie des plaquettes aux fins de l'assurance qualité. Le manipulateur de la plaquette est conçu pour actionner la plaquette, tandis que la force de préhension et l'emplacement de la plaquette sont synchronisés et contrôlés. AUTOMATISATION DE BROOKS MTX 4000 est alimenté par un système de contrôle logique basé sur PLC qui surveille et contrôle en permanence la position de la plaquette au cours de son trajet. Cette unité est utilisée pour effectuer des réglages de précision de la température et de la position de la plaquette au fur et à mesure qu'elle s'approche et s'éloigne du support. La machine de commande dispose également de doubles soupapes d'air redondantes pour s'assurer que la pression est égale et constante dans tout l'outil. Le MTX 4000 comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles que des soupapes d'arrêt d'urgence réglables et un verrouillage complet des actifs. BROOKS AUTOMATION MTX 4000 a également la possibilité d'interagir avec d'autres matériels et logiciels connexes afin d'intégrer le modèle. Cela inclut l'utilisation de mécanismes de manutention FOUP, de ports de chargement et de manipulateurs de cassettes. Les cartes d'interface OEM assurent la connexion entre MTX 4000 et d'autres systèmes et permettent aux utilisateurs d'envoyer des données telles que des recettes de plaquettes, de coordonner des signaux et d'envoyer/recevoir d'autres signaux de contrôle. BROOKS AUTOMATION MTX 4000 est livré avec plusieurs fonctionnalités supplémentaires, telles qu'un terminal d'écran tactile couleur, la protection de mots de passe multi-niveaux, et le support de plusieurs langues. Il soutient également la surveillance de l'environnement, en utilisant des caractéristiques telles qu'un filtre à air intégré, des transducteurs de pression, et la surveillance thermique. Le MTX 4000 peut être configuré et personnalisé pour des plaquettes de différentes tailles et l'équipement peut être utilisé en mode manuel ou automatisé. Dans l'ensemble, BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handler est un système de manutention de plaquettes efficace et fiable avec des systèmes de détection et de contrôle avancés pour assurer la précision et la sécurité. Son large éventail de caractéristiques, sa flexibilité et ses capacités d'intégration en font un choix idéal pour les applications de traitement des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs.