Occasion BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019144 à vendre en France
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ID: 9019144
Atmospheric transfer robot 8.4"
3-axis single arm
With SMC pressure sensor module
Does not include:
Power cable
Data cables
Robot controller
Arm edtension.
AUTOMATISATION BROOKS Reliance ATR est une plate-forme de manutention de plaquettes qui offre des solutions intégrées et automatisées pour le traitement, la manutention et le transfert de plaquettes efficaces et fiables. Comme son nom l'indique, il est conçu et construit par BROOKS AUTOMATION, leader dans l'industrie de l'automatisation et des semi-conducteurs depuis des décennies. Reliance ATR offre des performances exceptionnelles dans le transfert de plaquettes entre les chambres de processus et entre les lieux de processus et de stockage. Son équipement d'entraînement hybride assure des mouvements précis et à faible vibration de la plaquette afin de minimiser les risques de contamination et d'endommagement du substrat de la plaquette. Le système dispose d'une cartographie automatisée des cassettes pour le chargement rapide et précis des cassettes de tailles mixtes dans des grilles de processus simples et multiples. L'unité dispose également d'un chariot d'ajustement intégré qui est conçu pour accueillir de multiples tailles de cassettes et grilles de processus afin d'offrir une flexibilité maximale dans la manipulation des plaquettes. AUTOMATISATION DE BROOKS ATR dispose également de diagnostics intégrés, programmés pour détecter la plupart des problèmes qui pourraient arrêter les opérations rapidement et avec précision. De plus, un accès facile à la cartographie et à l'historique de maintenance des cassettes permet un suivi et une optimisation des performances utiles. Reliance ATR est construit avec des caractéristiques de sécurité avancées, y compris des serrures de porte, des boutons de contrainte et des systèmes de sécurité, pour protéger contre la manipulation. Cela garantit que la machine n'expose pas les opérateurs à des matières dangereuses ou à des pièces mobiles, et augmente également la fiabilité de son fonctionnement. Dans l'ensemble, BROOKS AUTOMATION Reliance ATR est une plate-forme efficace et fiable pour la manipulation et le transfert de plaquettes et offre un large éventail de fonctionnalités et de systèmes de sécurité pour optimiser le processus et s'assurer que les plaquettes ne sont pas endommagées pendant le processus. Son outil d'entraînement hybride, son diagnostic intégré et sa facilité d'accès aux antécédents de maintenance en font un excellent choix pour toute application nécessitant une manipulation de plaquettes haute performance.
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