Occasion BROOKS AUTOMATION VAC-409 #293641123 à vendre en France

ID: 293641123
Robot and controller Part number: 6-0002-122-SP ESC-200 Triple axis.
BROOKS AUTOMATION VAC-409 est un manipulateur de plaquettes conçu pour transporter, manipuler et livrer rapidement et efficacement des ensembles de matériaux à base de semi-conducteurs. Cette machine polyvalente peut être utilisée dans une variété d'applications, allant de la manipulation simple de matériaux robotiques à des étapes complexes de processus lourds assistés sous vide. La machine fonctionne avec une combinaison unique de ports de vide, des servomoteurs de haute précision et des composants d'interfaçage pour fournir des performances fiables et répétables. Sa conception modulaire permet de fonctionner dans une grande variété de processus, tels que l'élimination de la matrice, le tri, la métrologie, et d'autres traitements de matériaux avancés. VAC-409 est capable de manipuler des plaquettes de 1 ", 2", 4 ", 6" et 8 "avec une charge utile pouvant atteindre 250 grammes, quelle que soit l'orientation. Il dispose également d'une alimentation sous vide amovible et d'un régulateur de température liquide disponible avec des ensembles de matériaux EMC. Le robot a une portée totale de 250 mm dans l'axe X et 126 mm dans l'axe Y, lui permettant de ramasser, transporter et déposer des ensembles de matériaux dans toutes les orientations. Ses pompes à vide à longue durée de vie offrent un contrôle à la fois statique et dynamique du vide avec un choix de couple d'entraînement, permettant le contrôle de la force et la flexibilité du système. La conception de BROOKS AUTOMATION VAC-409 est optimisée pour réduire l'usure et maximiser la précision. La machine dispose de servomoteurs à faible inertie, avec des codeurs linéaires sans contact pour fournir un mouvement ultra-précis des plaquettes. L'ensemble du système est équipé d'outils conviviaux pour un entretien facile. VAC-409 est un choix idéal pour le traitement des matériaux semi-conducteurs. Il offre un excellent support pour une large gamme d'ensembles et de processus de matériaux, fournissant des performances fiables avec une excellente répétabilité. Que ce soit pour une manipulation robotique simple ou pour des étapes complexes de processus assistées par vide, BROOKS AUTOMATION VAC-409 est une solution robuste et fiable.
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