Occasion BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501 à vendre en France

BROOKS AUTOMATION VAC407 est un manipulateur de plaquettes conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. VAC407 est un équipement automatisé pour échanger des plaquettes entre des outils de procédé, tels que des graveurs et des fours, et des cassettes de plaquettes au moyen de bras robotiques. BROOKS AUTOMATION VAC407 peut traiter des plaquettes de neuf et douze pouces, ainsi que des plaquettes de huit, douze et seize pouces jusqu'à une épaisseur de 200 microns. Le système est exploité au moyen d'une interface graphique conviviale fonctionnant sur un écran tactile. Cela permet aux opérateurs de modifier facilement les paramètres des recettes de processus. Les paramètres qui peuvent être ajustés comprennent l'emplacement et l'orientation de la plaquette, la vitesse et l'accélération de la plaquette, le temps de déplacement entre les différents outils, et les niveaux de vide et de pression utilisés. VAC407 est équipé de deux bras robotiques indépendants pour l'échange des plaquettes, permettant des transferts simultanés entre les outils de traitement et les cassettes de plaquettes. L'unité est équipée d'un capteur à vide qui maintient la plaquette dans la bonne orientation pour l'échange. En outre, la machine dispose d'algorithmes de cartographie uniques qui assurent des transferts précis. BROOKS AUTOMATION VAC407 est équipé d'un puissant outil de vision Cognex pour localiser et vérifier les cassettes et outils de plaquettes. Cela garantit que le bras robot identifie et échange toujours correctement les plaquettes avec les bonnes cassettes de plaquettes, et les bons outils de traitement. VAC407 est également équipé d'un atout de sécurité intégré pour prévenir les collisions de robots, la contamination de l'environnement et les conditions de processus anormales. Le modèle comprend de puissantes fonctions pneumatiques et de sécurité logicielle, telles que l'arrêt automatique de l'outil et les boutons d'arrêt d'urgence. L'équipement dispose également d'une fonction d'autodiagnostic qui vérifie automatiquement toutes les conditions anormales et les indique sur l'écran tactile, garantissant que le système peut être actionné en toute sécurité. BROOKS AUTOMATION VAC407 est un gestionnaire de plaquettes fiable et convivial qui assure des transferts précis et empêche la contamination des plaquettes pendant le processus de traitement. L'unité est également équipée de puissants dispositifs de sécurité et d'un autodiagnostic, ce qui la rend hautement fiable et réduit le risque de défaillance.