Occasion BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638 à vendre en France

AUTOMATISATION BROOKS VTR-5 Wafer Handler est un dispositif utilisé pour déplacer et manipuler des wafers dans un équipement de traitement de wafer. Il est capable de manipuler une plaquette simple ou double face avec une cadence allant jusqu'à 800 mouvements par minute. VTR-5 transporte en toute sécurité des plaquettes entre cassettes, réacteurs, aligneurs de masques, fours et implantateurs ioniques. Il dispose d'une navette d'entrée/sortie de plaquettes optionnelle pour le transport de plaquettes à plus grande vitesse. BROOKS AUTOMATION VTR-5 dispose d'un ensemble modulaire de chariots de pont qui supporte les opérations de manutention des plaquettes simples et doubles. Sa conception facile à intégrer permet le chargement/déchargement des robots et le transfert rapide des plaquettes. L'électronique de commande comporte une interface utilisateur bouton-poussoir et des affichages LED/LCD pour indiquer quand un composant donné est en mode transport ou en mode erreur. VTR-5 a une conception en deux étapes pour assurer la protection des plaquettes et la manipulation précise des plaquettes. La première étape consiste en un tissu sans linge enroulé autour de la gousse de plaquette pour prévenir la contamination des particules. La deuxième étape consiste en l'utilisation d'un dispositif sensible de positionnement de plaquettes qui permet le serrage, le positionnement et la rotation d'une plaquette. Cette opération sensible permet un positionnement précis des plaquettes par rapport aux repères du registre d'alignement. Le mécanisme de manutention de la plaquette est constitué d'un profil à trois maillons permettant un traitement précis de la plaquette. Ce profil à trois maillons est entraíné par un moteur pas à pas et peut supporter des tailles de plaquettes allant de 50 à 300 mm. BROOKS AUTOMATION VTR-5 dispose également d'une grande zone de chargement et de déchargement des plaquettes qui permet de réduire les ruptures et la contamination. Le gestionnaire de plaquettes est contrôlé par un programme MAPC (Modular Automated Protocol Carrier). Le programme stocke des recettes définies par l'utilisateur et fournit une interface graphique facile à utiliser pour programmer et contrôler rapidement les opérations de manutention des plaquettes. Les communications avec divers équipements sont activées via le protocole RS-485. Le système est alimenté par un PLC Allen-Bradley et est branché en toute sécurité sur une source d'énergie triphasée. VTR-5 Wafer Handler est un outil très fiable et flexible pour la manipulation de plaquettes dans un large éventail d'applications de traitement de plaquettes. L'opération automatisée permet d'assurer la précision, la précision et le contrôle du mouvement des plaquettes tout en réduisant les risques de contamination des particules et de dommages physiques. Avec son large éventail de caractéristiques et de capacités, ce gestionnaire de plaquettes est un excellent choix pour les tâches de manutention de plaquettes dans des organisations telles que les laboratoires, les semiconducteurs et les entreprises de fabrication de circuits intégrés.