Occasion BROOKS Magnatran 7 #293604921 à vendre en France
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ID: 293604921
Robot
NOVELLUS Driver P/N: 003-1600-25
NOVELLUS Arm set P/N: 002-0016-04/14.
BROOKS Magnatran 7 est un équipement automatisé de manutention de plaquettes conçu pour fournir un débit élevé, une efficacité maximale et un traitement fiable de la configuration de plaquettes monobloc et double pile. Son automatisation et sa flexibilité lui permettent d'être utilisé dans des environnements allant de la recherche et développement à la production à haut volume. Le système a une zone de manutention des plaquettes où les plaquettes de différentes largeurs sont traitées dans une configuration d'usine de type C. Les plaquettes sont traitées en support supérieur ou inférieur et peuvent mesurer de 150 mm à 300 mm de diamètre. Les plaquettes sont maintenues fermement en place à l'aide de deux systèmes de serrage et de roulis, tandis qu'elles sont transportées de haut en bas d'une piste verticale. Les plaquettes sont placées et retirées manuellement ou via un robot chargeur/déchargeur. En fonctionnement, l'unité effectue plusieurs étapes de processus telles que le revêtement de spin, le cendrage, l'étanchéité des cordons, la cuisson et le séchage. Magnatran 7 est piloté par un servomoteur propriétaire qui dispose d'une grande vitesse et précision de position. Cela permet à la machine d'accélérer et de décélérer rapidement la piste de la plaquette, assurant le déplacement des plaquettes avec le bon timing et la vitesse à tout moment. De plus, la machine a la capacité de détecter et de régler avec précision la position de la piste de plaquette chaque fois qu'un arrêt est nécessaire, ce qui la rend apte au fonctionnement à grande vitesse. En outre, le BROOKS BROOKS Magnatran 7 fournit également un certain nombre de fonctions et de processus de contrôle avancés, y compris la surveillance des événements de l'outil et le paramétrage, pour assurer la performance et le rendement reproductibles du processus. Il a également une fonction de message de récupération d'erreur qui avertit du mauvais traitement de la plaquette avant que le matériel soit perdu. La machine est également équipée d'un outil complet de détection des pannes et d'une panoplie de dispositifs de sécurité qui aident à réduire les risques d'accidents physiques. Globalement, Magnatran 7 assure un fonctionnement fiable, précis et à haut débit avec un environnement de micro-traitement facilement configurable. Il est idéal pour un large éventail d'applications de traitement de wafer, allant de la recherche et développement à la production à haut volume.
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