Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151 wafer handler est un équipement haut de gamme utilisé pour la manutention, le traitement et le transport de wafers semi-conducteurs dans des laboratoires et d'autres environnements de salles blanches. Le système fournit des opérations précises de manutention de plaquettes dans une gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs allant du dépôt de couches minces à la lithographie en passant par la métrologie, en plus d'offrir une enceinte de laboratoire étanche pour protéger les plaquettes de la contamination. Le gestionnaire de plaquettes se compose d'une unité principale, d'un port autolocalisateur, d'un convoyeur de plaquettes, d'un robot à vide, d'un réseau de bras manipulateurs, d'un plateau de levage et de galets à 90 ° et de systèmes d'actionnement et de commande de l'air. L'unité principale abrite le robot et d'autres composants pour créer une chambre de transfert récupérable qui est étanche à l'air et maintient un environnement de température et d'humidité constant. Le port autoloader gère efficacement et avec précision les processus d'entrée et de déchargement des plaquettes. C'est une unité entièrement mécanique conçue pour minimiser la production de particules et la contamination. Le convoyeur déplace les plaquettes, cassettes et plateaux de chargement/déchargement à travers la chambre, permettant le transfert et la manutention sans soudure des plaquettes entre cassettes et/ou plateaux. Les bras manipulateurs suivent des itinéraires programmés à l'intérieur du module robotique pendant le transfert des plaquettes. Les bras sont munis de protecteurs intégrés pour empêcher le contact accidentel avec les plaquettes et de capteurs de sécurité pour arrêter les éléments de fonctionnement lorsqu'ils sont alertés. La levée d'angle de 90 ° se compose d'un ensemble d'entraînement, de levage et de rotation qui transporte mécaniquement les plaquettes du niveau du plateau au niveau du robot. Le plateau de plaquettes est un appareil intelligent qui prend la cassette, le plateau et/ou la plaquette du robot et les transporte au niveau du plateau. Les systèmes d'actionnement et de commande de l'air assurent le contrôle de la séquence d'automatisation, et les systèmes d'actionnement individuels pour chaque bras coordonnent le déplacement vers des positions prédéterminées au plus haut niveau de précision possible. BROOKS 105151 est conçu pour assurer une grande précision dans le transport des plaquettes sans compromettre la propreté du laboratoire. Sa machine d'automatisation avancée assure des fonctions de manutention fiables des plaquettes, tandis que la chambre interne offre un environnement très propre et contrôlé, aidant à protéger les plaquettes contre la contamination et à maintenir des températures de fonctionnement constantes.