Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589 à vendre en France
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BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E est un manipulateur de plaquettes polyvalent et fiable pour les installations de production de semi-conducteurs. Son fonctionnement entièrement automatisé lui permet de déplacer rapidement et avec précision les plaquettes tout au long du processus de manutention. BROOKS 5850E est alimenté par deux systèmes indépendants de 256 pas/servomoteurs. Chaque équipement d'axe est capable de positionner avec précision les plaquettes, avec une résolution de pas aussi faible que 1,3 microns. Le manipulateur peut être équipé de trois plateaux de plaquettes, ce qui lui permet de tenir jusqu'à quarante-huit plaquettes de 200mm ou soixante-six plaquettes de 150mm à la fois. Il peut également accueillir jusqu'à quatre plaquettes de 500 mm. PRI AUTOMATION 5850E est également livré de série avec deux serrures de charge, chacune avec son propre système mécanique, pneumatique et sous vide. Cela permet au manipulateur de charger/décharger rapidement et avec précision les plaquettes dans le plateau de plaquettes, de réduire le temps d'arrêt dû à la manutention à haut volume et de réduire la contamination par les particules. 5850E est également équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels qu'un dispositif programmable d'arrêt d'urgence, un détecteur de faisceau optionnel et un réseau de capteurs. Ces caractéristiques offrent un niveau supplémentaire de protection et d'assurance que toutes les opérations se déroulent en douceur et en sécurité. La machine de commande de BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E est constituée d'un contrôleur logique programmable (PLC), qui permet à l'utilisateur de créer facilement des processus reproductibles et programmables. Cela permet une manipulation personnalisée de grands volumes de plaquettes sur de courtes périodes de temps. L'utilisateur peut également accéder aux données paramétriques via l'interface graphique de la machine et accéder à des recettes prédéfinies pour exécuter des processus et en créer de nouveaux. BROOKS 5850E est un manipulateur de plaquettes efficace, précis et fiable pour les installations de production de semi-conducteurs. Son outil de plateau réglable, ses serrures de chargement, ses caractéristiques de sécurité et son outil de contrôle intuitif en font un choix idéal pour une manutention à haut volume.
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