Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 Wafer Handler est une machine légère et polyvalente conçue pour les applications de traitement des semi-conducteurs. Il est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200mm ou 8 pouces de diamètre. Le gestionnaire utilise un module de transport interne des plaquettes pour déplacer les plaquettes du chargeur vers l'équipement de traitement des plaquettes de l'utilisateur. Le manipulateur offre des capacités de sélection et d'alignement pour une manipulation précise des plaquettes. Le gestionnaire automatisé de plaquettes dispose d'une conception modulaire composée de deux composants indépendants, la tête et le plateau. La tête est conçue pour accepter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre. Il est équipé de quatre effecteurs d'extrémité indépendants qui alignent les plaquettes pour une bonne manipulation. Les effecteurs d'extrémité alignent les plaquettes de manière à ce qu'elles s'intègrent solidement dans le support et les empêchent de fléchir pendant le transport. La tête est montée sur un plateau d'asservissement linéaire qui assure un contrôle de mouvement lisse et précis. Les deux servos contrôlent indépendamment les plateaux supérieur et inférieur, permettant à la tête de se déplacer dans une direction verticale ou horizontale pour un alignement optimal de la position de la plaquette. Le plateau ou base est le deuxième composant du manipulateur. Il est équipé d'un équipement sous vide qui assure la sécurité de la plaquette pendant le transport. Le plateau dispose également d'un système de nettoyage, conçu pour minimiser la contamination de la plaquette et assurer la préparation critique de la surface avant le chargement. La plaquette est prélevée dans le plateau et introduite dans l'équipement de traitement de la plaquette de l'utilisateur, complétant le transfert. BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handler est une unité conviviale conçue pour un fonctionnement fiable dans les applications de traitement des semi-conducteurs. La conception modulaire de la machine, les capacités d'alignement et le processus de chargement automatisé offrent une flexibilité maximale pour le transfert des plaquettes. L'outil peut être intégré avec une variété d'équipements de traitement de plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour plusieurs scénarios d'application.