Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION 5877 #9353204 à vendre en France

ID: 9353204
Mass flow controller UESHIMA-BROOKS 3 slm N2 Module.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5877 est un gestionnaire automatisé de plaquettes conçu pour maximiser le débit et les performances dans les applications de traitement de plaquettes. Il dispose d'une architecture monoplan unique qui permet de transférer jusqu'à 21 plaquettes simultanément. L'équipement est entièrement automatisé avec plusieurs étapes de manutention, de chargement et de déchargement automatisés pour assurer un débit continu de plaquettes. Le gestionnaire automatisé de plaquettes est équipé de nombreuses fonctionnalités, dont des commandes robotiques de bras, des moteurs linéaires programmables et un système de contrôle logique programmable (PLC) complet. Les commandes robotiques de bras permettent un déplacement précis des plaquettes avec des réglages manuels ou automatisés. Les moteurs linéaires programmables permettent un mouvement constant et répétable des plaquettes tandis que l'unité PLC permet l'échange de données opérationnelles avec d'autres systèmes de l'application. En outre, ce gestionnaire automatisé de plaquettes comprend plusieurs caractéristiques de sécurité telles que la protection en surou en sous-course et une machine d'interception mécanique. BROOKS 5877 comprend également un sous-système de manutention de plaquettes qui est basé sur un outil de convoyage. Ce sous-système est constitué de rouleaux et de courroies qui transfèrent des plaquettes du poste de chargement au poste de déchargement. Les rouleaux déplacent les plaquettes horizontalement tandis que les courroies les déplacent verticalement. Par ailleurs, le sous-système de gestion de plaquettes contient également plusieurs dispositifs motorisés tels qu'un disque, un bras de détection et un compteur. Le lecteur de disque lève et abaisse les plaquettes, le bras de détection lit et enregistre les données des plaquettes, et le compteur enregistre le nombre de plaquettes qui ont été traitées. De plus, l'actif de vision intégrée permet un suivi précis des plaquettes lors du chargement et du déchargement. Il réduit également le temps de configuration en prenant en charge la configuration automatique de la taille et de l'espacement des plaquettes. De plus, PRI AUTOMATION 5877 est livré avec une chambre de traitement thermique séparée qui peut être connectée et contrôlée via le PLC. Cette chambre peut être programmée pour traiter les plaquettes de différentes manières telles que le recuit, la diffusion, la gravure, l'encapsulation et le décapage des plaquettes. En résumé, 5877 est un gestionnaire automatisé de plaquettes spécialement conçu pour le traitement d'applications de plaquettes. Il dispose d'un modèle de vision intégré, d'un sous-système de manutention des plaquettes et d'une chambre de traitement thermique des plaquettes permettant un suivi précis et le traitement des plaquettes. Il est également capable de manipuler jusqu'à 21 plaquettes simultanément et est équipé d'une large gamme de caractéristiques de sécurité. Dans l'ensemble, ce gestionnaire automatisé de plaquettes fournit une solution fiable et efficace pour les applications de traitement de plaquettes.
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