Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-7232-01 est un manipulateur de plaquettes conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement est capable de manipuler des plaquettes de 6 à 8 pouces à partir de cassettes, de les transférer et de les orienter sur un mandrin sous vide, et de les transporter vers et depuis les chambres de traitement. Le système d'automatisation est composé d'une série de courroies, d'arbres d'entraînement et d'actionneurs de mouvement linéaires qui travaillent en harmonie pour fournir un mouvement lisse et précis dans toute sa gamme de mouvement. Au cœur de l'unité se trouve le bras de transfert. Il s'agit d'un dispositif multi-axes constitué de deux bras entraînés de façon indépendante qui assure un contrôle précis et précis de la plaquette dans sa portée de travail. La base du bras de transfert est montée sur un poteau d'appui vertical qui permet un mouvement libre autour des trois axes. La base du bras est également équipée d'un orifice de vide. Ce vide permet de serrer solidement la plaquette dans sa plage de fonctionnement tout en permettant un mouvement minimal. La base du bras est également équipée d'un capteur d'orientation (ou « oeil ») qui sert à détecter l'orientation de la plaquette lors de son déplacement. Il peut détecter à la fois le sens horaire et le sens inverse des aiguilles d'une montre, ainsi que l'orientation vers le haut et vers le bas. Une autre partie intégrante de la machine est le mandrin à vide. C'est une plate-forme circulaire plate qui est montée à l'extrémité du bras de transfert. Il est conçu pour saisir solidement la plaquette en place pendant le transport vers et depuis la chambre de traitement. Le mandrin est équipé d'une série de broches qui sont conçues pour se rétracter lorsque l'aspiration a lieu. Cela permet de maintenir la plaquette en place de manière sûre tout en permettant un mouvement minimal. L'outil est également équipé d'une série de courroies qui transfèrent les plaquettes de la cassette à la chambre de traitement. Les courroies sont toutes entraînées par un servomoteur qui permet un contrôle lisse et précis de la vitesse et de la direction de la courroie. L'actif est également équipé d'une série d'interrupteurs de limites et de capteurs qui garantissent que les plaquettes sont toujours transférées de la bonne manière et que le processus ne sera pas interrompu. BROOKS 9700-7232-01 est un modèle hautement capable qui fournit des capacités précises et précises de manipulation des plaquettes pour les processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa conception robuste et son large éventail de caractéristiques lui permettent de gérer une variété de plaquettes allant de 6 à 8 pouces. La combinaison de ses capacités de mouvement et d'orientation avancées, de systèmes de courroie et de mandrin fiables et de nombreux capteurs en fait le choix idéal pour la manipulation automatisée de plaquettes dans une variété d'applications.