Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101 à vendre en France
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AUTOMATISATION BROOKS/PRI ATM 105-1-2-S-RHS est un gestionnaire avancé de plaquettes conçu pour le traitement de substrat monobloc. Il est capable de courir jusqu'à 1 200 plaquettes par heure et peut accueillir des plaquettes de 6 à 8 pouces. Ce gestionnaire de plaquettes est configuré pour être directement intégré à un équipement d'inspection et de métrologie BROOKS ATM Wafer, tel que le ATM 210-600-100-S. Il est également capable d'être connecté à un bras robot ZED Automation pour le transfert de plaquettes entre le gestionnaire de plaquettes et les pistes du système de métrologie. BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS est enfermé dans un cadre en acier inoxydable, est classé UL, et dispose d'un design sanitaire qui répond aux normes JEDEC salle blanche. Jusqu'à 150 cassettes de plaquettes peuvent être expédiées en toute sécurité dans l'unité grâce à l'inclusion du mode double face où le gestionnaire peut être exécuté des deux côtés de l'unité en fonction des exigences de déchargement de la plaquette de l'opérateur. L'unité dispose également de portes de sécurité, ce qui aide à protéger le personnel d'intégration de la machine contre tout dommage potentiel tout en travaillant avec l'unité. PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS est alimenté par un outil d'entraînement alternatif avec une puissance triphasée 110 ou 208V et peut fonctionner de façon autonome à une vitesse de 0-200 demi/minute. Il dispose également d'un contrôle de mouvement modulé en largeur d'impulsion (PWM), de codeurs optiques avec une résolution de 1024 impulsion/révolution, ce qui aide à maintenir un contrôle de mouvement très précis, et d'un outil de communication TeachPendement. Les techniques PWM et d'optimisation permettent à l'unité de garder tous les mouvements dans la répétabilité de 0,001 pouces. Tous les entraînements internes, capteurs, interrupteurs de limites et systèmes électriques sont contrôlés en PLC et HMI pour assurer le bon fonctionnement. ATM 105-1-2-S-RHS dispose également d'un modèle de mandrin à vide pour le positionnement et le chargement précis des plaquettes sur l'unité. L'unité comprend un capteur laser et un équipement de vision qui aide à diriger l'orientation de la plaquette et met à jour l'opérateur si une plaquette est manquée. De plus, l'unité est équipée d'un système de détection d'interruption pour s'assurer que le mouvement de la plaquette est constant et qu'une plaquette interrompue est réorientée avec précision et retournée sur le chemin. AUTOMATISATION BROOKS/PRI ATM 105-1-2-S-RHS est un gestionnaire de plaquettes efficace et fiable qui est conçu pour les demandes de traitement de technologie avancée. Ses fonctionnalités et fonctions avancées permettent d'améliorer l'efficacité opérationnelle et la sécurité, tandis que sa conception sanitaire garantit un environnement de travail sûr. Ce gestionnaire de plaquettes est le choix idéal pour ceux qui recherchent une unité fiable qui peut suivre les taux de production rapides et les aider à rester en avance sur la courbe.
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