Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553 à vendre en France

ID: 9194553
Style Vintage: 2010
Wafer handling robot 2010 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE est un gestionnaire de plaquettes multi-axes conçu pour maximiser l'efficacité de l'équipement de traitement des plaquettes. BROOKS ATM-105-1-S-CE est un gestionnaire de plaquettes performant capable de scanner, trancher et charger/décharger des plaquettes avec précision et précision. Ce gestionnaire de plaquettes offre un mouvement répétitif pas à pas et le plus haut débit atteignable, même avec de petites plaquettes sophistiquées. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE est composé de 4 cartes, dont une carte de contrôle, une carte E/S et une carte de codeur. Le tableau de contrôle contient un système basé sur PC IBM avec système d'exploitation Microsoft Windows 95/98/00/NT avec une carte de contrôleur moteur Stepper installé avec le logiciel d'accompagnement. La carte E/S, qui entraíne le moteur pas à pas, est située en bordure de l'ensemble électronique. La carte codeuse reçoit des impulsions du moteur pas à pas, et les composants électroniques jouent un rôle dans la surveillance de la température du système. Le moteur pas à pas et les cartes codeuses sont reliés directement au processeur central (CPU) et à la mémoire. ATM-105-1-S-CE dispose de multiples capacités de balayage et de tranchage, et d'un logiciel optimisé de manipulation des plaquettes OEM. Le gestionnaire de plaquettes dispose d'un mode de balayage breveté « Smooth » qui fournit des performances répétables et extrêmement précises de tranchage de plaquettes. Il prend également en charge plusieurs opérations de manutention et de tranchage de la taille des plaquettes, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications basées sur les plaquettes. La taille maximale de la plaquette manipulée est de 8 "de diamètre, mais il peut également manipuler de plus grandes plaquettes avec l'adaptateur approprié installé. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE comprend un nombre standard de fonctionnalités, telles que les vitesses électroniques, qui aident à obtenir un processus plus rapide donnant un débit plus rapide. Ses plaques coulissantes pratiques, ainsi que les ventouses à vide et la pince à faible effort, permettent le chargement et le déchargement des plaquettes sans entrer en contact avec les surfaces actives de la plaquette. De plus, la vis à billes de recirculation permet des mouvements de plaquettes doux et doux qui sont critiques pour le nettoyage. Enfin, le gestionnaire de plaquettes dispose d'une interface utilisateur intuitive avec affichage graphique en direct. Cette interface utilisateur comprend un contrôleur logique programmable (PLC) pour permettre le fonctionnement du plancher de la centrale, et un certain nombre de ports de communication sont prévus pour la fixation de dispositifs externes ou pour la liaison à des systèmes tels que des systèmes de surveillance plantaires UPW. Grâce à sa conception de contrôleur moteur à la fine pointe de la technologie, BROOKS ATM-105-1-S-CE offre des niveaux difficiles à battre de débit et de précision de manutention des plaquettes.
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