Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649 à vendre en France

ID: 9197649
Style Vintage: 2003
Wafer handling robot 2003 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE wafer handler est un équipement de manutention de plaquettes haute performance conçu pour offrir un rendement et une fiabilité supérieurs grâce à des capacités de mouvement ultra-rapides de pointe. La machine est conçue pour un positionnement précis et reproductible des plaquettes, offrant la stabilité optimale du processus et des rendements pour la production de circuits intégrés à semi-conducteurs et à niveau des plaquettes. BROOKS ATM-105-1-S-CE est capable de manipuler jusqu'à 300 mm (12 pouces) de plaquettes, ce qui le rend hautement adapté à une production à haut volume. Il est équipé d'un système de mouvement exceptionnellement rapide, qui comprend un moteur linéaire haute vitesse et haute précision, un servomoteur double axe compact et un moteur pas à pas ultra-rapide propriétaire, offrant un positionnement et une répétabilité rapides, répétables et fiables au niveau du nanomètre. De plus, la machine est dotée d'un portique très rigide et de grand profil, ce qui la rend adaptée à un nanoprocessage de haute précision. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE intègre également un certain nombre de fonctionnalités avancées visant à réduire le temps de cycle et à augmenter le débit. Par exemple, il utilise la technologie Adaptive Recipe Learning (ARL), qui apprend automatiquement des conditions de traitement optimales pour chaque plaquette individuelle et génère la recette la plus efficace basée sur les mesures en temps réel de la machine. De plus, la machine est équipée de la surveillance de l'action des outils en temps réel (RTM), une unité de surveillance centrée sur les outils qui mesure, enregistre et rapporte le fonctionnement événement par événement de la chambre et de ses composants. Cela garantit un fonctionnement optimal et fournit des données pour d'autres analyses et une optimisation ultérieure des processus. ATM-105-1-S-CE intègre également le chargement/déchargement à plusieurs chambres (MCLU), permettant la production continue de plaquettes avec différentes recettes de processus. En outre, il dispose d'une interface utilisateur sophistiquée qui fournit des alarmes programmables, autodiagnostic et une machine d'avertissement. L'outil offre également une gamme de caractéristiques de sécurité, telles qu'une zone de sécurité, des capteurs laser et un cycle d'arrêt automatique afin de maintenir un environnement de production sûr. Dans l'ensemble, BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE wafer handler est une machine de manutention de wafer très fiable, efficace et précise qui offre le rendement ultime dans le processus. Il est idéal pour la production de circuits intégrés et de semi-conducteurs à haut volume de plaquettes et sa technologie avancée de micropositionnement le rend adapté au nanoprocessage. Sa vaste gamme de fonctionnalités et de capacités en fait un atout très attrayant et rentable.
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