Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558 à vendre en France

BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105
ID: 9064558
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 est un gestionnaire de plaquettes haute performance conçu pour des solutions d'automatisation avancées dans la production de semi-conducteurs. Cet outil offre une plate-forme entièrement intégrée pour transférer les plaquettes entre les outils de processus et les plateaux avec précision et contrôle. Cet outil est basé sur un design compact et modulaire, permettant une installation et un entretien faciles. Le cadre principal de BROOKS ATM-105 est construit à partir d'un cadre rigide en aluminium, fournissant une structure extrêmement robuste pour des exigences de débit encore plus élevées. L'équipement de manutention des plaquettes sous vide de haute précision comprend une navette à vide à double rail et des mandrins de plaquettes pour des opérations de préhension fiables. Une fonction d'autolavage avancée compense tous les écarts dans le système de rail de transfert à vide, assurant une manipulation précise des plaquettes sans réglage manuel nécessaire. Un actionneur rotatif motorisé à grande vitesse assure des rotations lisses et précises, tandis qu'un actionneur linéaire de précision permet un indexage ultra rapide et lisse des plaquettes. PRI AUTOMATION ATM 105 est également conçu avec un bras robotisé avancé à une seule main qui permet des transferts rapides et sans faille de plaquettes entre les outils de procédé et les porte-plateaux. La combinaison de ce bras robotique et de l'unité de manutention des plaquettes sous vide permet également un chargement et un déchargement rapides et cohérents des plaquettes vers et depuis les plateaux. De plus, une machine de guidage de vision avancée permet à PRI AUTOMATION ATM-105 d'aligner avec précision les plaquettes et les plateaux, garantissant ainsi précision et répétabilité. ATM 105 dispose également d'un outil de contrôle puissant comprenant une interface graphique conviviale (interface graphique). Cet outil de contrôle permet de contrôler à distance et directement toutes les fonctions, en fournissant un contrôle précis et une surveillance détaillée des processus. L'interface graphique fournit également à l'utilisateur une visualisation en temps réel de l'environnement du gestionnaire de plaquettes, ce qui permet aux opérateurs de visualiser facilement les données actuelles et de traiter les informations. En bref, BROOKS ATM 105 wafer handler est un outil puissant et précis qui fournit des solutions de manutention de wafer haute performance pour l'automatisation avancée dans la production de semi-conducteurs. Avec sa grande précision, sa précision et son interface conviviale, ATM-105 est un choix idéal pour les solutions d'automatisation dans la fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui.
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