Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour des applications de fabrication de plaquettes de milieu de gamme, telles que CMP, CVD et Etch. BROOKS ATM-105 est un équipement modulaire, conçu pour la flexibilité afin de s'adapter à une large gamme de substrats et de processus. Il dispose d'un système de transport « en ligne » plan plat à grande vitesse qui assure un contrôle exact du mouvement du porteur de la plaquette, une mesure précise de la position et de la vitesse ainsi qu'une précision stable, fiable, constante et répétable. Le GAB D'AUTOMATION de PRI 105 fournit aussi au contrôle d'équipement total son LNC-1000 standard et paquet de communications. Ce paquet comprend la possibilité de définir des paramètres d'équipement et des recettes de traitement qui peuvent être utilisées pour configurer rapidement n'importe quelle étape de processus. BROOKS ATM 105 intègre un mécanisme amélioré de manutention des plaquettes qui minimise la dérive des plaquettes lors de la manutention. L'ATM 105 dispose de composants pneumatiques, électriques et mécaniques faciles à entretenir, permettant une réponse rapide et des temps d'arrêt réduits. AUTOMATISATION BROOKS/PRI ATM 105 calibre automatiquement chaque cassette lorsqu'elle est installée dans l'unité et reconnaît rapidement quand une cassette différente a été installée, assurant le suivi et le transfert précis et reproductible des plaquettes. On peut obtenir plus de précision en branchant une caméra d'inspection de haute précision pour l'orientation des plaquettes. PRI AUTOMATION ATM-105 est capable d'identifier automatiquement les caractéristiques, lui permettant de prendre des décisions avancées sur les itinéraires à prendre pour chaque surface de plaquette. La machine améliore le débit et réduit les opérations sans valeur ajoutée en effectuant l'alignement et l'inspection en temps réel des caractéristiques des plaquettes. ATM-105 peut traiter des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre avec une interface personnelle contrôlée par ordinateur, offrant un fonctionnement convivial. L'outil fournit également une interface Ethernet pour l'accès à distance aux équipements, aux opérateurs et aux systèmes de gestion des processus. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 est un atout fiable, efficace et sûr, qui peut être utilisé dans tous les environnements de processus et de production. Son contrôle de haut niveau et sa précision en font une solution idéale pour les procédés de fabrication de plaquettes de milieu de gamme