Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888 à vendre en France
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler est un module de transport automatisé de haute performance, leader dans l'industrie, pour la manipulation précise et précise des wafers dans les applications qui nécessitent une stabilité de régulation de température extrême. Le gestionnaire de plaquettes est conçu pour accueillir des tailles de plaquettes allant de 200mm à 200 mm et est réglable pour accueillir divers diamètres et hauteurs de plaquettes. L'unité est capable de fournir une voie directe de la source à l'outil de procédé, avec un mécanisme d'indexation de plateau pour améliorer le contrôle de la plaquette. L'unité comprend également une conception ergonomique avec une ouverture réglable pour faciliter le chargement et le déchargement des plaquettes. BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler est capable de fonctionner en mode vertical et horizontal, offrant une compatibilité optimale avec une large gamme d'outils de processus. L'unité dispose également de la technologie Active Stacking pour une gestion optimisée des plaquettes lors des opérations de production à haut volume. Cela permet au gestionnaire de plaquettes de réduire les temps de cycle et d'améliorer la capacité de production sans sacrifier l'intégrité des plaquettes. PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE est conçu pour maintenir la température de la chambre à ± 1 ° C ou mieux, offrant des conditions extrêmement stables pendant le traitement des plaquettes. L'unité dispose d'une architecture de contrôle avancée qui peut être programmée pour répondre aux exigences spécifiques de manipulation des plaquettes. Cela se fait par des paramètres de processus facilement réglables, par exemple la vitesse de la plaquette, les délais, et jusqu'à 16 recettes configurables totales. Cela permet de programmer avec précision les manipulateurs de plaquettes pour répondre aux exigences de production définies par le client, des cycles de validation aux cycles de production de haute qualité. ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler comprend également des fonctions de surveillance et de diagnostic frontal telles que les alarmes intégrées, les codes d'erreur et l'enregistrement des données. Cela permet d'assurer une intégrité uniforme des plaquettes, ainsi qu'une meilleure disponibilité et une maintenance simplifiée. L'unité dispose également d'une grande précision dans le centrage et le déchargement des plaquettes, fournissant un rendement de processus répétable. Dans l'ensemble, BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler est un module de manutention de plaquettes fiable et robuste qui fournit une manipulation précise et précise des plaquettes dans les outils de processus avec une stabilité de régulation de température extrême. La largeur, la hauteur et la rotation réglables de l'unité garantissent sa compatibilité avec une large gamme de tailles de plaquettes, tandis que ses paramètres de processus réglables permettent aux clients de l'adapter à leurs propres exigences de production spécifiques. L'architecture de contrôle avancée, la surveillance intégrée et le diagnostic, ainsi que les fonctions de centrage et de chargement de haute précision font de BROOKS ATM-407B-2-S-CE un excellent choix pour les applications technologiques modernes.
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