Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685 à vendre en France
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ID: 9195685
Atmospheric wafer handling robot
Controller: ESC - 212B
Teach pendant: TTR - 100
Cables:
EQUIPE 2002 - 0011 - 07PCE
EQUIPE 2002 - 0011 - 07SC
EQUIPE 2002 - 0031 - 07SCE
EQUIPE 2002 - 0012 - 07SCE
EQUIPE 2002 - 0012 - 07PCE
(2) DEXON DX18B - 1 (HP) Filter / Speed controllers
Not included:
Power cord
panel covers
Accessories.
BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-S wafer handler est un système d'automatisation robotique très avancé conçu pour déplacer, manipuler et inspecter les wafers semi-conducteurs. Il est utilisé dans les procédés de fabrication de précision en salle blanche. BROOKS/PRI handler est un système modulaire qui peut être adapté aux besoins individuels des processus. Il comprend un panneau principal, plusieurs cassettes de plaquettes transportables, une navette de plaquettes et un poste d'inspection et de détection. L'ordinateur central se compose d'une trame de base, d'une interface opérateur, d'une alimentation électrique, de composants de mouvement actionnés pneumatiquement et de moteurs d'asservissement. Les cassettes de plaquettes transportables fournissent un moyen automatisé de transport des plaquettes d'un poste de traitement à un autre. Ils permettent un chargement et un déchargement rapides, précis et reproductibles des plaquettes dans l'ordinateur central. Ils sont également équipés d'un lecteur de codes-barres pour améliorer l'intégrité des données. La navette wafer permet de transporter des wafers d'une station de traitement à l'autre à l'intérieur de l'ordinateur central. La navette est pilotée pneumatiquement et peut être configurée sur mesure pour n'importe quel nombre de plaquettes. Il est conçu pour une précision et une répétabilité élevées avec un minimum de vibrations, assurant une manipulation des plaquettes de haute qualité. Le poste d'inspection et de détection est utilisé pour détecter et mesurer les défauts éventuels des plaquettes. Il est équipé d'imagerie avancée et de capteurs de lumière qui permettent la mesure précise des plaquettes. Les capteurs peuvent détecter avec précision les défauts des plaquettes et déterminer toute irrégularité ou contamination. BROOKS ATM 407-1-S est un système d'automatisation robotique hautement avancé et personnalisable conçu pour fournir une manipulation et une inspection des plaquettes de haute précision qui est capable de répondre aux besoins de production les plus exigeants dans les environnements modernes de salle blanche. Avec sa construction modulaire, ses applications polyvalentes et sa construction robuste, c'est une solution d'automatisation idéale pour les processus de fabrication de semi-conducteurs les plus difficiles.
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