Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212 wafer handler est un système de manutention entièrement automatisé de wafer conçu pour le dépôt et le traitement de semiconducteurs. Le gestionnaire de plaquettes peut manipuler des plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre et comprend une variété de composants, tels que des ponts de plaquettes, des modules de processus, des modules de levage de plaquettes et des modules de transport. Les ponts de plaquettes peuvent transporter des plaquettes entre les ponts, et sont également capables de singulariser des plaquettes en pièces individuelles, ce qui permet un plus grand contact de surface avec le substrat. Les modules de processus permettent d'automatiser divers processus, tels que le dépôt chimique en phase vapeur, la pulvérisation, la CMP et la lithographie, et sont conçus pour maximiser le débit et réduire les coûts de processus. Les modules de levage des plaquettes facilitent le transfert des plaquettes des modules de transfert vers les modules de processus, et peuvent également clipper les cadres des plaquettes pour éviter les dommages aux plaquettes fragiles pendant le transfert. Les modules de transport fournissent la commande de mouvement nécessaire pour le transfert des plaquettes entre les ponts et des ponts des plaquettes sur les modules de levage des plaquettes. Le gestionnaire de plaquettes comprend également des dispositifs de sécurité pour empêcher le personnel non autorisé d'accéder à l'intérieur du gestionnaire de plaquettes, ainsi qu'un logiciel de diagnostic pour la vérification de l'état de la machine et la localisation des pannes. En outre, le système a une conception d'efficacité énergétique et dispose d'une technologie de contre-équilibre pour réduire la consommation d'énergie. Dans l'ensemble, BROOKS ESC 212 est un outil efficace et fiable pour le traitement des semi-conducteurs à haut volume.