Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562 à vendre en France

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 est un manipulateur de plaquettes unique en son genre conçu pour des applications de haute précision nécessitant un alignement garanti des plaquettes, un maintien parfait sous vide et un échange rapide des plaquettes. Il dispose d'une plate-forme entièrement intégrée 5 axes style gimbal et est conçu pour interagir avec la métrologie des plaquettes et les systèmes optiques. Cet équipement robotique offre une capacité de pas et de répétition, d'inclinaison et d'élévation, avec une large gamme de configurations pour diverses applications. Il assure un positionnement précis et reproductible de tout type de plaquette, en utilisant à la fois son prisme d'alignement breveté et son système de vision tridimensionnelle. BROOKS MTR 5 est composé de trois composants principaux : un robot, un porte-plaquettes et une chambre à vide. Le robot est conçu pour être à la fois très répétable et précis, capable de mouvements précis et précis de commande de mouvement. Sa vitesse maximale est de 60 ° par seconde, tandis que sa précision de position est de 40 microns. Le robot est équipé d'une large gamme d'accessoires externes, tels que la protection de l'ESD, les pneumatiques, les capteurs optiques et les contrôles environnementaux. L'unité de traitement du vide (VHS) de PRI AUTOMATION MTR5 contient une chambre à vide motorisée à double zone pour la prise de la matrice et l'alignement. Le VHS est capable d'obtenir une rotation précise et un alignement de filière dans un rayon de 0,5 mm depuis le centre de la plaquette. La chambre d'admission contient plusieurs buses optimisées pour une taille individuelle de plaquette, pour assurer une aspiration optimale. Le porte-plaquettes, qui tient la plaquette pendant le transport, peut être personnalisé pour répondre à tous les besoins de l'application. De plus, le porte-plaquettes peut être rapidement modifié pour différentes tâches. Enfin, BROOKS MTR5 est livré avec un contrôleur de bord S6, doté d'une machine de commande/commande entièrement intégrée qui comprend la programmation de séquence, HMI et interface utilisateur, ainsi que le contrôle de processus en ligne. L'écran tactile convivial simplifie grandement le fonctionnement du robot et facilite le bon fonctionnement et le contrôle du processus.