Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565 à vendre en France

AUTOMATISATION BROOKS/PRI MTR 5 est un manipulateur de plaquettes utilisé dans les procédés de lithographie et de dépôt de couches minces. BROOKS MTR 5 est un instrument de précision qui permet un positionnement et un transfert précis de plaquettes simples ou multiples. PRI AUTOMATION MTR5 peut manipuler des plaquettes jusqu'à 5 po de diamètre et 0,3 po d'épaisseur, et il peut permettre de traiter jusqu'à trois plaquettes à la fois. PRI AUTOMATION MTR 5 est construit sur une architecture à cadre ouvert et dispose d'un équipement d'exploitation embarqué. Le système se compose d'une unité de contrôle, d'une interface d'entrée, d'un module de contrôle de bas niveau et d'un pilote moteur. Chacun de ces composants est conçu pour interagir entre eux et fournir les fonctionnalités nécessaires à l'unité. L'unité de contrôle est responsable du fonctionnement de BROOKS MTR5. Il se compose d'un contrôleur Joystick à quatre axes, d'une table Wafer X et Y et d'un volant. Les entrées du contrôleur sont utilisées pour contrôler le déplacement de la table de plaquettes. L'interface d'entrée est une interface tactile avec un clavier et un trackball. Cela permet à l'utilisateur de configurer des processus automatisés et d'apporter des modifications aux paramètres de la machine. Le contrôleur reçoit également des entrées du module de contrôle de bas niveau, qui est responsable du contrôle en temps réel du gestionnaire de plaquettes. Ce module peut être utilisé pour spécifier des paramètres tels que la taille de la plaquette, la vitesse de mouvement de la plaquette, la force de serrage de manutention de la plaquette, la précision de position, la vitesse de transfert de la plaquette et la précision de la synchronisation de la manipulation de la plaquette. Le motoriste est la dernière pièce de l'outil et est l'unité qui déplace effectivement la plaquette et la positionne pour le traitement. Il se compose d'un moteur pas à pas, d'un contrôleur d'axe numérique et d'une courroie d'entraînement. Le contrôleur d'axe numérique est responsable de la commande en temps réel du moteur, tandis que le moteur pas à pas est utilisé pour le positionnement de précision et le déplacement de la plaquette. La courroie motrice est chargée de déplacer la plaquette sur le chemin souhaité. MTR 5 est un atout de haute performance qui offre un positionnement et un transfert de plaquettes très précis. Il est conçu pour permettre un transfert rapide et précis des plaquettes sur de courtes distances, ce qui le rend idéal pour la production de semi-conducteurs. Le modèle est capable de supporter plusieurs plaquettes à la fois et offre le contrôle et les contrôles de sécurité nécessaires pour s'assurer que les plaquettes restent manipulées en toute sécurité pendant la production. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 est un équipement fiable et efficace qui est conçu pour fournir un maximum d'efficacité et de débit dans le traitement des plaquettes.