Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006 à vendre en France
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BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 est un manipulateur robotique de plaquettes qui permet à l'utilisateur d'effectuer une gamme complète d'opérations de manutention de plaquettes. Le manipulateur est adapté pour des diamètres de plaquettes allant de 25mm à 300mm et la capacité de manutention d'épaisseur de plaquettes allant jusqu'à 10mm. L'équipement dispose d'un système de vision CCD (à couplage de charge) haut de gamme combiné à un bras robotique qui permet l'alignement et le positionnement précis des plaquettes. Le gestionnaire peut être intégré avec un processeur frontal PRI ou BROOKS Ambassador avec des options pour des modules supplémentaires. Pour les opérations nécessitant une reconnaissance avancée des motifs, l'ajout d'un module WAA (Wafer Alignment Apparatus) est disponible. Ce module est conçu spécifiquement pour identifier, contrôler et manipuler les différents repères d'alignement présents sur la majorité des plaquettes. Les bandes transporteuses à l'intérieur du dispositif déplacent les plaquettes dans la zone de produit du robot manipulateur, localisant avec précision les plaquettes au besoin. L'unité de transport peut atteindre des vitesses allant jusqu'à 600 mm/s, permettant des transferts élevés en peu de temps. Le convoyeur dispose également d'une fonction antistatique qui aide à protéger les plaquettes contre les influences électriques défavorables. Le gestionnaire utilise une seule caméra grand format qui fournit une image détaillée à l'utilisateur final. Cette image est utilisée pour la reconnaissance de repères d'alignement de motifs ou pour la lecture de codes à barres. Cela permet de gagner un temps précieux dans le processus d'inspection manuelle, car l'utilisateur n'a plus à inspecter visuellement les plaquettes pour s'assurer du positionnement et de l'orientation. La machine de commande du gestionnaire est composée d'un Beckhoff PLC, entouré de 4 écrans tactiles. L'interface utilisateur est intuitive et offre à l'utilisateur un large éventail de paramètres pour personnaliser le comportement du gestionnaire. Les conditions de fonctionnement peuvent être fixées de manière à ce que les mouvements robotiques restent dans des limites adaptées. Les programmes peuvent être stockés dans la mémoire, ce qui permet à l'utilisateur d'accéder et d'exécuter rapidement des programmes pour des opérations communes de traitement des plaquettes. De plus, BROOKS MTR 5 peut également être relié directement à un réseau d'autres équipements et contrôleurs, permettant un échange rapide de dat et de communication entre le dispositif et des sources externes. Cela permet un partage efficace des données et une surveillance des outils. Avec ses puissantes capacités techniques, il est facile de comprendre pourquoi PRI AUTOMATION MTR5 est considéré comme l'un des principaux gestionnaires automatisés de plaquettes.
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