Occasion BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603 à vendre en France

AUTOMATISATION BROOKS/PRI MTR 5 Wafer Handler est un équipement de haute précision utilisé dans les secteurs du semi-conducteur, du disque et d'autres industries connexes. Il est conçu pour déplacer et positionner avec précision et rapidité les plaquettes de silicium entre les chambres de procédés. Il dispose d'une fenêtre d'inspection qui permet aux opérateurs de vérifier l'alignement de la plaquette avant son entrée dans la chambre. BROOKS MTR 5 fonctionne avec un contrôleur multi-tactile qui comprend un cadran rotatif 3D et une commande capacitive de curseur tactile. Il comprend deux guides linéaires de précision et un équipement de pré-alignement avec une répétabilité et une précision de position élevées. Ces caractéristiques, associées au système automatisé de contrôle de l'opérateur, permettent à l'équipement de déplacer la plaquette avec précision et cohérence dans les chambres de processus, augmentant le débit et éliminant les temps d'arrêt causés par des erreurs de manutention manuelle. PRI AUTOMATION MTR5 peut être programmé avec jusqu'à 32 hauteurs d'alignement et points de ramassage différents, ce qui le rend extrêmement flexible lors de la manipulation de plusieurs tailles de plaquettes. Il a un diamètre de plaquette maximum de 200 mm, et une taille de plate-forme de plaquette de 305 mm. Le gestionnaire de plaquettes peut se combiner avec d'autres accessoires de processus de plaquettes de la série MTR pour créer une unité de manutention et d'outils de traitement de plaquettes hautement fonctionnelle. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 est conçu pour le transport de plaquettes et la manipulation de processus dans une seule unité. Il comprend un bras de plaquette, un robot mobile, et la commande de la machine qui tous coopèrent pour déposer avec précision les plaquettes dans la chambre de processus. Le ramassage et la livraison de la plaquette se fait par un port de chargement, et est sécurisé avec un outil de verrouillage excentrique. PRI AUTOMATION MTR 5 est équipé d'une pompe à vide programmable qui réduit le temps de traitement en pré-aspiratant commodément la plaquette avant qu'elle n'atteigne le port de chargement. Grâce à son design unique, BROOKS MTR5 offre également un accès rapide et facile à la chambre pendant l'entretien. Pour assurer un niveau de sécurité plus élevé, MTR5 comprend un commutateur de sécurité situé au centre qui arrête tous les robots dans le matériel de manutention de la plaquette. Cette fonction supplémentaire augmente la productivité et la capacité de processus d'une manière sûre et efficace. Ce gestionnaire automatisé de plaquettes robotiques assisté par l'opérateur est conçu pour permettre un fonctionnement sans problème de la chambre de processus avec une influence minimale de l'opérateur.