Occasion BROOKS VTR-5 #169514 à vendre en France

BROOKS VTR-5
Fabricant
BROOKS
Modèle
VTR-5
ID: 169514
Robot.
BROOKS VTR-5 est un équipement robotisé de transfert de vide et de manutention monobloc destiné aux procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour un débit optimal de plaquettes et offre une propreté, une flexibilité, une fiabilité et une traçabilité améliorées. Le système est capable de traiter et de surveiller les plaquettes de 100mm, 200mm, 300mm et 450mm sans nécessiter de composants de chargement et de déchargement personnalisés. VTR-5 dispose d'une tête de transfert sous vide compatible avec pratiquement tous les types de plaquettes et d'un processus de transfert sécurisé et reproductible. De plus, son panneau de commande LCD 12 pouces, sensible au toucher, fournit une large gamme d'informations de fonctionnement, de diagnostic et de maintenance. L'unité a également auto-purge et auto-centre, permettant une meilleure performance de transfert et la répétabilité du processus. La machine est livrée avec un ascenseur à plaquettes équipé de 4 étages, asservis, poignées de plaquettes pneumatiques et une chambre étanche aux gaz qui convient aux environnements de production de niveau de classification. L'interface de conception à base de particules magnétiques prévient les erreurs de traitement des plaquettes et garantit de bonnes performances de manipulation. Sa conception modulaire permet également une réparation et un entretien faciles, avec un accès rapide aux composants internes de l'unité. BROOKS VTR-5 offre également une combinaison supérieure de performances de débit et de propreté avec un temps de cycle de seulement 4,6 secondes par plaquette, et il dispose également d'une capacité de suivi RFID en temps réel, permettant une surveillance en temps réel de toutes les plaquettes chargées et déchargées de l'outil. En outre, sa technologie de transmission LPC, permet le suivi et la traçabilité des plaquettes à partir des lots de plaquettes, d'où une fiabilité de production maximale. VTR-5 est un équipement à semi-conducteur fiable et rentable qui améliore la propreté et la traçabilité, avec un temps de cycle compétitif avec un débit et une répétabilité élevés. Sa conception simple et modulaire, associée à son interface utilisateur intuitive et graphique, garantit une ligne de production de qualité et des performances de manutention supérieures.
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