Occasion COMET R2D #9397149 à vendre en France

COMET R2D
Fabricant
COMET
Modèle
R2D
ID: 9397149
Taille de la plaquette: 6"
Wafer transfer system, 6" (3) Stations.
COMET R2D Wafer Handler est un équipement de traitement automatisé, complet et monobloc conçu pour des applications industrielles de fabrication de semi-conducteurs. C'est une solution idéale pour la production, la sécurité et la fiabilité. Le système est très fiable et facile à utiliser, car il utilise un bras robotique double axe avec commande de mouvement et un outil de manutention des plaquettes. R2D est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200 mm et offre une gamme complète d'options et d'outils de processus pour le traitement des plaquettes, y compris le transport, la vérification, la gravure, le nettoyage et le masquage. Le manche de la plaquette est équipé d'un bras robotique puissant qui permet un mouvement précis de la plaquette, idéal pour une production à haut débit. Il fournit un positionnement rapide et précis des plaquettes dans une gamme de coordonnées off-center jusqu'à 50mm du centre de la plaquette. En outre, le bras dispose d'un capteur de haute précision qui fournit un mouvement libre pour des portées précises et maintient un haut degré de précision pour le traitement des plaquettes. COMET R2D comprend également une option de commande du moteur qui permet des vitesses de mouvement précises et répétables des plaquettes. En ce qui concerne la manutention des plaquettes et les outils de traitement, la machine est équipée de plusieurs modules de traitement des plaquettes, y compris la gravure par voie humide, le spin-coater, la photorésist et la gravure par voie sèche, ce qui permet d'effectuer des étapes de traitement de la plaquette complète, de la salle blanche à la photolithographie en passant par la gravure. En outre, l'outil intègre un atout de sécurité entièrement intégré avec de multiples alarmes et fonctions d'arrêt d'urgence, garantissant le fonctionnement sûr de l'appareil. En outre, le modèle est conçu pour un entretien pratique et fiable, avec des modules intégrés pour un remplacement et un étalonnage faciles. Dans l'ensemble, R2D Wafer Handler est une solution idéale pour les applications industrielles nécessitant une fabrication de semi-conducteurs de haute précision et à haut débit. L'équipement fournit une solution fiable, conviviale et efficace qui garantit un traitement sûr et précis des plaquettes.
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