Occasion CSM Calotest #9115220 à vendre en France
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Les manutentionneurs de plaquettes CSM Calotest sont utilisés dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices pour déplacer, aligner et contrôler les plaquettes semi-conductrices pendant la production. Ils consistent en un positionneur automatique de plaquettes supporté par un équipement de commande angulaire pour assurer un alignement et une manipulation précis des plaquettes. Le gestionnaire de plaquettes remplit toutes les fonctions nécessaires de présentation, d'alignement, de centrage, d'orientation, de structuration et de traitement de la plaquette. Le manipulateur est équipé d'un plateau, d'un capteur de plateau, d'un détecteur et d'actionneurs correspondants. Le plateau de plaquettes est conçu pour adapter et transporter une plaquette de silicium de taille standard, généralement 200-300mm de diamètre, sans gratter ou endommager la surface. Le plateau est revêtu d'un film enduit de silicone pour réduire l'électricité statique, protégeant la plaquette de la décharge électrostatique. Un capteur rapporté détecte alors la présence d'une plaquette sur le plateau et envoie un signal au système de commande angulaire. L'unité de commande angulaire régule la vitesse, la force et le mouvement de la plaquette avec des niveaux de précision. Le contrôleur reçoit les signaux d'entrée du capteur de plateau et adapte les signaux aux commandes de mouvement programmées et positionne avec précision la plaquette. De cette façon, le contrôleur fait tourner la plaquette au fur et à mesure de son déplacement sans endommager la surface. Le détecteur est un réseau de diodes électroluminescentes et de photocapteurs fixés au fond du plateau de la plaquette. Il mesure la distance de la plaquette par rapport au plateau lors du positionnement et transmet un signal à la machine de commande angulaire, permettant à l'outil de régler la vitesse et la force en conséquence. Les actionneurs d'adaptation de plaquettes sont situés à l'extérieur du plateau de plaquettes et sont conçus pour faire tourner la plaquette dans un motif prédéterminé. Les actionneurs déplacent la plaquette dans les plans x, y et z pour corréler au motif de traitement désiré. Calotest wafer handler est utilisé en combinaison avec d'autres systèmes automatisés ultra-propres, tels que les systèmes d'inspection optique et les systèmes de mesure de motifs, pour assurer le plus haut niveau de précision et de rendement de production. Son contrôle du mouvement de précision, combiné à ses options de taille polyvalentes et sa compatibilité avec une variété de matériaux de plaquettes, en font une solution fiable et économique pour la fabrication de semi-conducteurs.
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