Occasion DENSO RC7M-WLBA #9411594 à vendre en France
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DENSO RC7M-WLBA est un manipulateur de plaquettes haute performance conçu pour répondre aux exigences des installations avancées de fabrication de semi-conducteurs. Ce gestionnaire de plaquettes fiable et de pointe est conçu pour transporter des plaquettes de 200mm, 300mm et 450mm de diamètre, avec une taille maximale des plaquettes de 28,5mm et une taille minimale des plaquettes de 3mm. RC7M-WLBA est capable de fonctionner dans un large éventail de paramètres de processus, tels que la température, les aligneurs et le niveau de vide, permettant un contrôle complet du processus. DENSO RC7M-WLBA est conçu avec un concept modulaire offrant une flexibilité d'installation et de reconfiguration. Sa structure est composée d'une base, d'un cadre et de plusieurs outils qui permettent un meilleur contrôle des processus. Dans le cadre du concept modulaire, la base est composée de ports de chargement qui acceptent des cassettes ou des gousses pour le chargement et le déchargement des plaquettes. Le cadre contient les modules d'outillage comprenant l'aligneur, la cassette, les systèmes de vide et les composants de manutention des plaquettes, qui supportent la gamme de dimensions des plaquettes à traiter. RC7M-WLBA dispose également d'une alimentation électrique indépendante et d'un équipement de contrôle robotisé intégré. Le système de contrôle du robot est responsable du fonctionnement, du déplacement et de la surveillance du gestionnaire et de ses sous-systèmes. En outre, l'unité de contrôle robot intégrée permet une programmation basée sur les fonctionnalités et fournit un temps de réponse rapide, améliorant le débit. En outre, DENSO RC7M-WLBA dispose d'une machine d'autocontrôle qui surveille les opérations de bobine à bobine, l'échange de cassettes et d'autres opérations d'outils. Toutes les informations collectées par cet actif sont stockées dans une mémoire qui permet un transfert de données rapide et une meilleure fiabilité de la machine. Dans le cadre de la configuration standard, RC7M-WLBA comprend des capteurs de proximité qui évitent la collision entre le gestionnaire et son environnement. Le manipulateur de plaquettes DENSO RC7M-WLBA est conçu pour les applications suivantes : épitaxie, oxydation, dépôt chimique en phase vapeur, pulvérisation, lithographie, traitement thermique et manutention des plaquettes. En outre, il peut être intégré aux outils de procédé existants, tels que les implantateurs d'ions, les systèmes de dépôt LED-HB, les gravures sèches, le matériel de métrologie, etc. Ce gestionnaire avancé de plaquettes est conçu pour assurer l'efficacité, la fiabilité et la sécurité. Sa conception permet une installation facile, une installation et un entretien rapides, augmentant le temps de disponibilité de la machine et réduisant les temps d'arrêt. De plus, son concept modulaire permet des mises à niveau, ce qui contribue à maintenir sa valeur dans le temps. En conclusion, RC7M-WLBA est la solution idéale pour les installations avancées de fabrication de semi-conducteurs.
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