Occasion ENTEGRIS KA198-80M #293590956 à vendre en France

ENTEGRIS KA198-80M est un manipulateur de plaquettes pour la fabrication de semi-conducteurs. C'est une plateforme robotique intégrée qui est conçue pour être utilisée dans les systèmes de photolithographie. Ce gestionnaire de plaquettes offre une configuration multi-axes allant jusqu'à 4 axes et un bras et manipulateur de type traîneau pour déplacer les plaquettes semi-conductrices de cassette en cassette de façon robotique séquentielle. KA198-80M a une répétabilité de + 80 μ m/un seul axe, une alimentation électrique typique de 80 ampères et une vitesse d'équilibre allant jusqu'à 3 m/s. Son temps de décantation réduit et sa conception peu profilée permettent des temps de cycle plus rapides et un plus grand débit. Il est équipé d'un bras robotique scellé innovant qui empêche l'exposition à un environnement corrosif, assurant le plus haut niveau de contrôle, de précision et de précision. Le mécanisme de levage du bras est conçu pour transférer un maximum de huit plaquettes de 8 pouces à la fois. ENTEGRIS KA198-80M est construit avec un mécanisme de rotation incliné et est configuré avec un moteur dédié pour chaque axe. Le moteur est capable de supporter une charge statique jusqu'à 5 kg et une charge dynamique jusqu'à 6 kg. L'angle d'inclinaison maximal pour ce gestionnaire de plaquettes est ± 4 degrés, ce qui permet une exposition ciblée au CI sur la plaquette. Le gestionnaire de plaquettes KA198-80M utilise les derniers algorithmes de couture pour la récupération rapide lorsqu'il est frappé pendant le fonctionnement. Les algorithmes de contrôle avancés permettent à l'unité d'identifier et de recréer rapidement l'emplacement exact de la plaquette afin que les opérations puissent reprendre rapidement. Le profil bas du bras élimine également l'obstruction et permet un dégagement tout en naviguant dans des courbes et allées étroites. Ce gestionnaire de plaquettes est conçu pour s'intégrer dans un large éventail de systèmes et d'applications de fabrication de semi-conducteurs. ENTEGRIS KA198-80M peut être utilisé pour divers procédés, notamment la fabrication, les essais et la caractérisation de semi-conducteurs. L'unité est facile à programmer, compacte à intégrer et fiable à utiliser. KA198-80M wafer handler s'avérera être un outil utile pour les installations à la recherche d'un wafer handler fiable et haut de gamme pour répondre à leurs besoins.