Occasion ENTEGRIS Ultrapak #55219 à vendre en France
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ENTEGRIS Ultrapak est un gestionnaire de plaquettes conçu pour une utilisation dans une variété d'applications de production et de test de semi-conducteurs. Il offre une compatibilité complète avec toutes les tailles de plaquettes standard et prend en charge une variété d'applications pour le transport de cassette à cassette et de robot à robot. Ultrapak dispose d'un design modulaire unique qui peut être adapté et configuré pour répondre aux exigences spécifiques du processus et du produit. Les plaquettes sont chargées dans une cassette et placées dans l'unité ENTEGRIS Ultrapak, puis un bras robotique transporte la cassette à l'étape suivante de traitement. La conception redondante d'Ultrapak offre des avantages en termes de fiabilité et d'entretien, tout en minimisant le risque de défaillance et de contamination de l'équipement. ENTEGRIS Ultrapak peut être utilisé dans des équipements de processus nouveaux et existants et configuré pour fonctionner avec une variété de systèmes d'automatisation. Son système de vide multi-positionnel intégré assure un transport précis et rapide des plaquettes avec une faible force de manutention et des vibrations minimes, ce qui entraîne moins de particules et des dommages de mort. De plus, Ultrapak peut être configuré avec une conception à double chambre, y compris un transporteur et un susceptor, pour permettre le chargement par lots et l'indexation à partir d'une variété de marchés de plaquettes. Son bras robotique est capable de positionner une plaquette à n'importe quelle position dans le manipulateur avec une grande précision, permettant un positionnement rapide de plusieurs plaquettes en un seul cycle. ENTEGRIS Ultrapak est construit avec des caractéristiques de sécurité de pointe qui garantissent la sécurité des opérateurs et minimisent la contamination. Son système de filtration d'air est conçu pour empêcher l'introduction de contaminants et de particules dans le processus et ses boucliers sont facilement enlevés pour l'entretien ou le nettoyage. En outre, son système de détection avancé assure un chargement et un positionnement appropriés des plaquettes ainsi qu'une détection des défauts et une réponse rapide à tout désalignement des plaquettes. Ultrapak est conçu avec un certain nombre de composants spécifiques au processus, dont un verrou de charge de transfert, un gabarit de chargement de Wafer et un positionneur de Wafer. La serrure de charge de transfert assure la sécurité du transfert et minimise les risques de contamination et de production de particules pendant le transport. Le Wafer Loading Jig permet de positionner la plaquette avec précision et est doté d'une fonction de chargement unique qui aide à réduire la génération de particules. Enfin, le Wafer Positioner fournit un emplacement de plaquettes de haute précision et contribue à assurer une empreinte uniforme des plaquettes tout au long du processus.
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