Occasion F-ONE CAL-1A01-Z30R35 #9111141 à vendre en France

F-ONE CAL-1A01-Z30R35
ID: 9111141
Robot P/N: R040101-A.
F-ONE CAL-1A01-Z30R35 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour manipuler avec précision des plaquettes de diamètre allant jusqu'à 200 mm (8 pouces) sur des supports de 8 mm (1/3 pouce). Il dispose d'un design modulaire automatisé avec des tutoriels en ligne intégrés. Le corps principal du gestionnaire de plaquettes est composé d'une base de modules et d'un corps de modules. La base du module est une base en aluminium coulé avec un intérieur blindé EMI. Sur le dessus de la base est le corps de module, qui est également en aluminium et supporte la bride de chargement de la plaquette et l'orifice de prise de vide. Toutes les pièces internes et les mécanismes de manutention des plaquettes se trouvent à l'intérieur du corps du module. Le gestionnaire de plaquettes dispose de six modules système : Vide, Détection de vide, Purge de gaz, Commande de mouvement, Wafer Skew, et A/V Module. Le module Vacuum se compose d'un orifice de prise de vide qui peut être installé pour supporter jusqu'à 25 différentes tailles de plaquettes. Il comprend également un système intégré de commande de vide pour fournir un contrôle précis. Le module de détection de vide est utilisé pour détecter la présence d'une plaquette sur le manipulateur par une variété de méthodes telles que optique, capacitive, thermique ou acoustique. Le module de purge des gaz peut être utilisé pour fournir un environnement atmosphérique propre pour le processus de remise des plaquettes et est personnalisable à différentes recettes de processus. Le module Motion Control est utilisé pour contrôler les mouvements des gestionnaires de plaquettes ainsi que la vitesse et l'accélération. Il comprend également une interface de commande numérique par ordinateur (CNC) qui est utilisée pour programmer des trajectoires personnalisées. Le module Wafer Skew est utilisé pour s'assurer que les plaquettes sont chargées dans le gestionnaire de plaquettes dans la position appropriée. Il utilise la technologie de détection pour détecter la position des plaquettes lorsqu'il entre dans le gestionnaire et peut être utilisé pour l'ajuster si nécessaire. Enfin, le module A/V est utilisé pour la communication entre un ordinateur hôte et d'autres composants. Cela permet à l'utilisateur de surveiller et de contrôler les performances du gestionnaire de plaquettes depuis l'extérieur de la machine. En conclusion, CAL-1A01-Z30R35 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour manipuler avec précision des plaquettes de diamètre allant jusqu'à 200mm (8 pouces) sur des supports de 8 mm (1/3 pouce). Il dispose d'une conception modulaire automatisée avec six modules système qui sont conçus pour fournir un contrôle précis et la précision tout en manipulant les plaquettes. L'appareil peut être utilisé pour une variété d'applications et est facilement personnalisé pour diverses recettes de processus.
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