Occasion FANUC M16iL #9082132 à vendre en France

FANUC M16iL Wafer Handler est un appareil automatisé de précision conçu pour la distribution de plaquettes de 200mm et 300mm. Sa construction robuste permet un déplacement rapide et précis de la plaquette dans une variété d'orientations et est équipée d'une large gamme de capacités telles que l'inspection et l'alignement des plaquettes, l'inspection sur bande unique et la manutention multi-boucles. M16iL se compose d'un bras de manutention, d'un support de plaquettes, d'un équipement de déplacement de hotlink, d'une table XY et d'un poste de contrôle. Sa vitesse de transfert maximale est de 140mm par seconde et son accélération maximale de 7500mm par seconde2. La répétabilité de la machine est de 0,05 mm ou moins et permet un maximum de 2000kg de charge mobile. Le bras de manutention est constitué d'une série de profilés en aluminium qui supportent la base du moteur d'asservissement en aluminium, ainsi que la charge utile pouvant atteindre 150 kg. Le bras fonctionne grâce à un système d'entraînement synchronisé qui lui permet de couvrir efficacement l'ensemble de la plaquette. Le bras peut être configuré pour des mouvements rotatifs, linéaires et de translation et peut tourner entre 0 et 190 degrés, permettant au bras de remonter à 180 degrés, dans un mouvement d'arc, d'une fixation de plaquette à une pince de robot. Le support de plaquette est une plaque de base motorisée coulissante qui ajuste la taille de la plaquette à la taille du support. Son unité en boucle fermée et ses moteurs assurent un contrôle précis et précis. Le mouvement de la plaque de base est géré par trois servomoteurs capables d'assurer des mouvements multiples et répétés. La machine de mouvement de hotlink est utilisée pour positionner avec précision la plaquette selon l'axe X et Y de la bobine. Pour ce faire, le hotlink est équipé de quatre moteurs pas à pas qui garantissent la précision et la vitesse du placement de la plaquette. La table XY est la station centrale de la machine de transfert de plaquettes. Il se compose de quatre glissières linéaires, deux servomoteurs et deux moteurs pas à pas qui contrôlent le mouvement X et Y de la machine. FANUC M16iL peut atteindre des vitesses allant jusqu'à 30mm/s avec sa table XY, permettant le transfert de plaquettes à grande vitesse. Le poste de contrôle de M16iL est l'interface entre l'opérateur et la machine. Le poste de commande permet un fonctionnement facile grâce à une gamme de ses fonctionnalités telles que des fonctions de démarrage et d'arrêt en douceur, un écran tactile et 10 canaux de commande de la machine. En conclusion, FANUC M16iL est une machine automatisée de manutention des plaquettes de précision qui peut traiter jusqu'à 200mm et 300mm de plaquettes. Il a une large gamme de capacités, utilise le mouvement hotlink et a une répétabilité de 0,05 mm ou moins. Son poste de commande permet un fonctionnement facile et est équipé d'une gamme de fonctionnalités qui assurent un transfert efficace et rapide des plaquettes.