Occasion ILHOTECH ITAL-500 #9392926 à vendre en France
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ILHOTECH ITAL-500 est un équipement de manutention de plaquettes de haute précision qui est conçu pour le traitement de plaquettes semi-conductrices composées à travers une variété d'étapes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système dispose d'un bras robot sous vide qui peut soulever et transférer des plaquettes jusqu'à 150 mm de diamètre entre plusieurs postes de travail. Ce bras permet de positionner précisément des plaquettes tout en assurant un environnement complètement sec nécessaire lors du traitement des semi-conducteurs. Les composants clés de l'unité sont le bras du robot, le dispositif d'outillage et la machine à micro-entraînement qui contrôle le mouvement du robot. Le bras robot est conçu pour s'adapter à n'importe quel poste de transfert semi-conducteur standard de 100 mm ou 150 mm, lui permettant de manipuler presque n'importe quel type de matériau de plaquette, y compris l'oxyde, le silicium polycristallin, l'arséniure de gallium et les substrats germanium-silicium. En outre, le bras robot est conçu pour être compatible avec tout poste ou outil de chargement/déchargement automatique. La base de ITAL-500 est un cadre robuste de qualité industrielle qui est construit pour assurer la stabilité même sous des poids élevés et des vibrations. La base dispose d'une plate-forme mobile renforcée qui permet à l'actif de fournir une plus large gamme de mouvements, tout en supportant un mouvement de haute précision. Le modèle utilise également des unités de micro-entraînement Delta Drive très précises et fiables, permettant un positionnement rapide, précis et reproductible des outils. L'installation d'outillage de ce gestionnaire de plaquettes est conçue pour fournir une plate-forme sécurisée pour les outils de processus, ainsi qu'une connexion sous vide pour le transfert et la préhension des plaquettes. L'installation dispose également d'un mécanisme d'outil à changement rapide qui permet un échange d'outils facile et simple. L'installation d'outillage est également équipée de capteurs tactiles pour l'alignement de haute précision des plaquettes dans les directions horizontale et verticale. Les autres caractéristiques d'ILHOTECH ITAL-500 sont un équipement de vision intégré pour la détection de l'orientation et de la position des tranches, un processus entièrement automatisé basé sur la recette et un système complet de surveillance et de contrôle basé sur le Web. L'unité est conçue pour être simple à utiliser et à entretenir, et assure une communication inter-processus complète entre les différentes étapes du processus de fabrication. De plus, ITAL-500 est conforme aux normes de sécurité des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, ILHOTECH ITAL-500 est une machine de traitement de plaquettes efficace et fiable conçue pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit un mouvement précis et répétable des outils de procédé pour le traitement à haut rendement des plaquettes semi-conductrices. Sa conception complète permet une grande précision et une manipulation rapide des plaquettes, ce qui le rend adapté à un large éventail de besoins de production.
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