Occasion INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 #9007852 à vendre en France
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Vendu
ID: 9007852
Style Vintage: 2005
Wafer pre-aligner
Missing base and cover
Part no. 755000-01
24 VDC
2005 vintage.
INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 est un équipement de haute performance pour la manutention de matériaux sensibles dans des environnements sous vide et ultra-vide. Il est conçu pour des configurations entièrement personnalisables avec une capacité de manutention intégrée des plaquettes pour des applications en développement, prototypage et amincissement des plaquettes. Ce système est capable de manipuler en toute sécurité et en toute sécurité de petites plaquettes de substrat dans des conditions allant de la dépression à la quasi-dépression. Il est également idéal pour les applications de recherche qui nécessitent une manipulation précise des plaquettes sans contaminer l'environnement. SPA-300 fonctionne à l'aide d'une unité de mouvement à deux axes, entièrement motorisée par pas, offrant aux utilisateurs un contrôle total des déplacements en x et en y. La machine de mouvement assure un positionnement lisse et précis des substrats de plaquettes avec une précision de répétition minimale de 0,04 mm. L'unité dispose d'un contrôle de démarrage/arrêt doux et d'un contrôle de saut dynamique élevé pour réduire davantage les risques de dommages aux plaquettes. De plus, un mécanisme anti-collision est intégré à l'outil pour protéger le substrat des impacts accidentels en mouvement. Au cœur de INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 est un atout avancé de rétroaction sous vide qui utilise des capteurs externes pour surveiller les niveaux de vide dans le modèle. L'équipement peut détecter et surveiller la présence d'un vide jusqu'à 10-5 Torr, et contrôler la vitesse de manutention et le mouvement de la plaquette en conséquence. Ce système assure que les niveaux de vide restent dans la plage de consigne, et que les dispositifs de plaquette sont manipulés avec la plus grande précision. SPA-300 est également conçu avec la capacité d'intégration de processus sous vide. Cela comprend une unité de calibration automatisée du capteur de vide, permettant aux utilisateurs de définir le niveau de vide optimal pour chaque étape du processus. En outre, la machine peut être équipée d'une pompe diélectrique supplémentaire, qui supporte en outre ses besoins en vide. Enfin, INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité pour protéger les plaquettes. Ces caractéristiques de sécurité comprennent une coupure d'air d'urgence intégrée, un interrupteur de verrouillage de sécurité entièrement fermé et des boutons d'arrêt d'urgence redondants. Toutes ces caractéristiques garantissent que même en cas d'accident, toutes les plaquettes restent sûres et sécurisées. Dans l'ensemble, SPA-300 est un outil de manutention de plaquettes extrêmement avancé et fiable pour une utilisation dans des processus sous vide complexes. Il offre une sécurité et un contrôle sans précédent sur la manipulation des plaquettes, ainsi que des résultats reproductibles et précis. Avec sa conception unique et sa fonctionnalité intuitive, cet atout peut aider les utilisateurs à obtenir les résultats souhaités pour des applications de pointe.
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