Occasion JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819 à vendre en France

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L est un gestionnaire de plaquettes de haute précision spécialement conçu pour la manipulation de plaquettes semi-conductrices délicates. Il est équipé d'un positionneur linéaire avancé pour assurer un alignement précis de la plaquette lors de la manutention. Ce positionneur est interfacé avec une unité de commande qui assure une grande précision des mouvements du positionneur. Le SLR 200 LPTS/L a trois axes de mouvement indépendants (X, Y, R) pour une flexibilité maximale dans la manipulation des plaquettes de toute taille et forme. L'axe X peut déplacer la plaquette de 135mm à 270mm et l'axe Y peut déplacer la plaquette de 165mm à 280mm, tandis que l'axe R peut déplacer la plaquette de 375 ° à rotation infinitésimale. Le SLR 200 LPTS/L est capable de traiter une large gamme de substrats, y compris toutes les nuances de silicium, SiGe, GaAs, et d'autres matériaux. Il supporte des plaquettes de toute taille et forme, de 200mm à 330mm de diamètre. De plus, il est capable de réaliser un large éventail de procédés allant du nettoyage et du dépoussiérage, à la gravure et au polissage. Il est également capable d'effectuer des tâches complexes d'inspection des plaquettes et de métrologie. Le SLR 200 dispose également de dispositifs de sécurité complets, tels que la détection des plaquettes lors de la manipulation et des mécanismes d'alerte pour détecter tout dommage potentiel. Le SLR 200 LPTS/L est livré avec un progiciel sophistiqué, comprenant des protocoles logiciels pour la mise à l'échelle des processus testés, l'ordonnancement des processus, des séquences de tests automatisés et d'autres fonctionnalités avancées. Le logiciel permet également la télécommande et la surveillance de la machine depuis n'importe quel endroit. Dans l'ensemble, JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L est un gestionnaire de plaquettes de haute précision, conçu pour la manipulation de haute précision et le traitement automatisé de différents substrats dans l'industrie des semi-conducteurs. Son positionneur linéaire avancé, sa gamme de mouvements expansifs, ses fonctions de sécurité complètes et son progiciel sophistiqué le rendent particulièrement adapté à diverses tâches de traitement des plaquettes.