Occasion KENSINGTON Equinox #81777 à vendre en France
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ID: 81777
Robot, includes controller, maximum radial reach of arm and end-effector: 18" from the centerline of the robot, dual end effector configuration, safe working envelope diameter with the arm in the center position and a wafer on the end-effector is 21".
KENSINGTON Equinox est un gestionnaire de plaquettes de haute précision conçu pour des opérations efficaces et rentables dans l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est équipé d'un mécanisme breveté de préhension de plaquettes à base de topographie, permettant une manipulation précise et stable du substrat. Le système est également très fiable et personnalisable, permettant aux utilisateurs de modifier des composants clés tels que des kits de transfert, des courroies de flexion, des convoyeurs et des plateaux de mandrin - ce qui maximise l'efficacité et permet une manipulation précise de diverses tailles et formes de plaquettes. L'unité dispose de trois composants principaux : une armoire de commande, un module d'étage supérieur et un positionneur zéro plaquette. L'armoire de contrôle contient un PC industriel, PLC et poste de travail HMI qui sont connectés par la communication CANopen et permettent une configuration et une programmation efficaces. Le module de l'étage supérieur est situé sur le bras supérieur et est chargé du transfert et de la préhension du substrat. Il comprend un étage d'entraínement linéaire, un servomoteur rotatif et une pince à plaquettes. Le positionneur zéro de la plaquette est le composant intégré qui détermine l'orientation précise du substrat, permettant une manipulation précise de la plaquette sans risque de rayures ou autres dommages. En outre, Equinox offre une large gamme de fonctionnalités et de capacités. Sa pompe de préliage sous vide intégrée pour le collage immédiat permet une manipulation de haute précision. La pompe de préliage sous vide dispose également d'un réglage automatique et d'une machine de surveillance de la température de surface qui assure un collage et un positionnement précis et contrôlés par la température. De plus, cet outil possède un atout de vision intégrée qui permet une détection précise du substrat. Une grande vitesse et un fonctionnement précis sont les principaux avantages de KENSINGTON Equinox. Le modèle a une fonction de suivi de contour avancée qui assure un mouvement de plaquette lisse et rapide sur la surface sans aucun dommage, offrant ainsi un contrôle de processus solide et des avantages économiques. Toutes ces fonctionnalités sont conçues pour fournir des performances élevées avec un maximum de précision, de fiabilité et de rentabilité. Dans l'ensemble, Equinox est un gestionnaire de plaquettes très avancé et fiable, qui est adapté à une utilisation dans une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs et peut fournir une manipulation de substrat très précise, sans dommages et rentable.
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