Occasion KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868 à vendre en France
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ID: 9285868
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Load port, 12"
2006 vintage.
KLA Phoenix D 1.2 est un gestionnaire de plaquettes haute performance conçu pour le traitement des semi-conducteurs avant. Le Phoenix D 1.2 dispose d'un ensemble étendu de capacités d'automatisation, lui permettant d'agir comme un équipement complet et autonome capable de gérer tous les aspects de la manipulation des plaquettes. Il est conçu pour travailler avec une variété de substrats, tels que le silicium, le quartz cristallin et le silicium sur isolant (SOI). Le Phoenix D 1.2 dispose d'un châssis robuste conçu pour assurer la stabilité et le soutien pendant la manutention des plaquettes. Il dispose d'un système automatisé de transport de rondelles pour assurer un déplacement efficace et précis des rondelles de plaquettes d'une station de transport à l'autre. Cette unité permet de minimiser le risque de contamination causé par la manutention manuelle et assure également la précision de la position de la plaquette pendant le transport. Il dispose également d'une machine à vide intégrée qui aide à transférer en toute sécurité les plaquettes individuelles des boîtes de stockage à la station de traitement. Le Phoenix D 1.2 comprend également des capacités avancées de commande de mouvement, lui permettant de tourner et d'incliner précisément chaque plaquette pendant le transport. Il dispose de deux gousses de vide qui peuvent contenir jusqu'à trois plaquettes par gousse, et une vitesse maximale de 8,3 pouces par seconde, permettant une manipulation rapide et précise des plaquettes. Le Phoenix D 1.2 supporte une large gamme d'interfaces pour faciliter la communication avec d'autres systèmes de traitement et d'instrumentation des plaquettes. Il dispose de plusieurs ports d'entrée/sortie pour se connecter à des périphériques externes, dont un port USB, des ports RS-232, des ports Ethernet et des ports analogiques. Le Phoenix D 1.2 comprend également un logiciel de pointe pour contrôler tous les aspects du processus de manutention des plaquettes, y compris le contrôle de mouvement, le contrôle de température et la communication entre les appareils. Le Phoenix D 1.2 est conforme aux normes SEMI, y compris SEMI E77 pour les systèmes de manutention des plaquettes, et SEMI C85 pour l'interface des équipements de traitement. Cela garantit un degré élevé de fiabilité, d'uniformité des processus et de compatibilité avec d'autres systèmes de manutention et d'instrumentation des plaquettes. Dans l'ensemble, TENCOR Phoenix D 1.2 est un gestionnaire de plaquettes haute performance conçu pour fournir une manipulation efficace, précise et fiable des plaquettes. Ses nombreuses capacités d'automatisation, ainsi que sa conformité aux normes SEMI, en font un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs frontaux.
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